派克Veriflo 产品组的SQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv) 是市场上先进的微型超高纯减压阀。这个系列提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。这个系列同样表现出优异的泄漏完整性和低粒子生成性，减少了半导体行业的过程污染.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流需求变化提供出色响应。这个系列利用自动定心束缚膜片提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座螺纹，颗粒产生与截留有效减少，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能。

SQ2Micro系列接液部件由特殊金属加工制成，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体内部材料为电抛光Vericlean™ 316L不锈钢. Vericlean™ 是派克超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料结合SQ2Micro系列的设计特点，使得SQ2Micro系列耐腐蚀性强和循环寿命长，入口压力可高至250 psig.

SQ2Micro和 SQ2Micro130E是具有相同间距的小型Veriflo量子阀.A型阀体带有内部面密封低压接口，安装压力表和传感器。SMSQ2Micro系列用于表面贴装.

SQ2Micro系列减压阀内部(阀座)密封和外部金属密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得其在苛刻的超高压领域性能和稳定性.

市场:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空
• 工业

特点和优势:
• 低粒子数
• 束缚膜片有效减少接液区域弹簧，提高安全性
• SMSQ2Micro Cv=0.06, SMSQ2Micro130E Cv=0.15
• 出口压力范围: -10 psig - 60 psig
• 内漏率: ≤ 5 x 10-8 scc/sec标准立方厘米/秒 He
• 外漏率: ≤ 2 x 10-10 scc/sec标准立方厘米/秒 He
• 5 微英寸 (Ra粗糙度) 电抛光表面处理
• 工作温度范围: -40°F - +150° F (-40°C - +66°C)

应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 气体柜
• 阀组箱 (VMB)

哈氏合金 C-22® 汉恩斯国际有限公司的注册商标.
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司的注册商标

UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (高达 250 psig) – SQ2Micro 系列