作为仪器仪表流体控制系统技术的行业先行者，派克汉尼汾18R系列不锈钢隔膜阀提供很高的循环寿命，并为高流量散装输送和特殊气体系统提供了正向的关闭。它可以选择手动或气动，1/2英寸或3/8英寸的阀体尺寸可选，并被设计用于超高纯度半导体制造应用中，以达到稳定性和清洁度是关键的要求。

18R系列阀门由特殊金属制成，以提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀门本体和下阀杆由 Veriflo的VeriClean™ 低硫，316L不锈钢制成，并在内部进行电解抛光。膜片是一种高强度钴基合金。阀座材料可在PCTFE（标准配置）或聚酰亚胺中选择使用，这样的材质设计允许18R系列与各种腐蚀性和惰性工艺流体一起使用。除了阀的严格的设计特点，控制阀座和膜片应力，以提供无维修的长使用寿命，18R系列的材料在工作压力高达1500 psig（手动配置），气动配置工作压力为1200 PSIG。18R系列在工作压力下提供了耐腐蚀性和优异的稳定性。

18R系列阀门都是在100级洁净室制造的。内部（阀座）密封和金属外部密封是使用质谱仪测试氦气泄漏。他们还使用外部嗅气探测器探头在1000 - 1500 PSIG压力下进行泄漏测试，以符合在UHP超净半导体制造应用的性能要求。

市场应用：
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析，生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产

特点/优势：
• 可用1/2英寸或3/8英寸的本体尺寸
• 为超高压流体系统提供高流量和正向关断
• 10微米（Ra）电抛光表面光洁度
• 高循环寿命（包括腐蚀性服务）
• 全功能设计从真空到1500 PSIG（手动设置），1200 PSIG（气动设置）
• 内部泄漏率：小于4×10-9 SCC/SEC（额定）
• 外部泄漏率：小于1×10-10SCC/SEC
• 使用外部嗅气探测器探头在1000—1500psi的一定时间内对生产泄漏进行测试
• 可以手动控制（1.30 CV值）或气动控制（1.00 CV值）

典型应用：
• 大宗特种气体系统（BSGS）
• 散装输送系统
• 半导体设备二次配管
• 气控制柜
• 阀门分配箱系统（VMB）

Vericlean™ 是派克汉尼汾公司的商标。

超净应用（UHP）-高压大流量不锈钢隔膜阀-18R 系列