Die Edelstahl-Membranventile der Produktserien Parker 935 bieten eine ausgezeichnete Leckagefestigkeit und Gaseinschlussfähigkeit, wodurch sie ideal für UHP-Anwendungen mit hohem Durchfluss (z. B. Halbleiterfertigungsanlagen) geeignet sind. Die Modelle 935A und 935T sind mit einer Positionsanzeige ausgestattet, durch die einfach zu ermitteln ist, ob das Ventil geöffnet oder geschlossen ist. Vorgeschaltete und nachgeschaltete Abführanschlüsse

Die Produktserie 935 ist mit einer gebundenen Membran ausgestattet, die einen zuverlässigen positiven Schafteinzug liefert und intern feder- sowie gewindelos ist. Dadurch wird die Angriffsfläche und die Möglichkeit von Gaseinschlüssen gesenkt, was bei Balgventilen üblich ist. Diese Eigenschaften erleichtern das Durchspülen und minimieren Partikelansammlungen.

Die gewölbte Membran erzeugt eine Metall-Metall-Abdichtung am Körper und ermöglicht maximalen Hubweg bei niedriger Belastung der Schweißnaht der Membran.

Der Ventilkörper besteht aus intern elektropoliertem Vericlean™ Edelstahl 316L. Vericlean™ ist ein patentierter Edelstahl der UHP-Klasse von Parker. Ventilsitze sind entweder aus PCTFE oder Vespel® erhältlich.

Die interne (Sitz-)Dichtung und die externe Metalldichtung in allen Ventilen der Produktserie 935 wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung mithilfe eines Massenspektrometers unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen UHP-Anwendungen zu gewährleisten.

Märkte:
• Fluid- und Gastechnik
• Prozesssteuerung
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Merkmale und Vorteile:
• Ideal für Anwendungen mit hohem Durchfluss und niedrigem Druck
• Oberflächenbearbeitung mit 10 Mikrozoll Ra
• Voll funktionsfähig bis zu einem Vakuum von 300 psig
• Minimale Partikelerzeugung und Gaseinschluss
• Externe Metall-Metall-Dichtung
• Feste Membran benötigt keine Federn in medienberührten Bereichen und verbessert die Sicherheit
• Ventilpositionsanzeige
• Interne Leckagerate: ≤4 x 10-9 scc/s He
• Externe Leckagerate: ≤2 x 10-10 scc/s He
• Ventilsitze sind entweder aus PCTFE (Standard) oder Vespel® erhältlich
• Zwei Anschlüsse, mehrfach drehbares Handrad

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Gasverteilungssysteme
• Spezialgassysteme für große Mengen (BSGS)

Vespel® ist eine eingetragene Marke von DuPont Performance Elastomers L.L.C.
VeriClean™ ist eine Marke der Parker Hannifin Corporation

UHP-Ventil mit gebundener Edelstahlmembran (bis zu 300 psig) – Produktserie 935