Die Produktserie PV-20 beinhaltet ein luftbetätigtes PTFE-Fluorpolymer-Membranventil zur Durchflussregelung von abrasiven Schlammmedien und aggressiven Fluiden in Halbleiter- und Reinbereichsanwendungen. Der Durchflussweg des Ventils bewirkt einen minimalen Druckabfall, sodass vor dem Ventil geringere Druckanforderungen und eine verbesserte Fluidflussdynamik ermöglicht werden. Das Ventil ist mit 2- und 3-Wege-Konfigurationen sowie mit drei verschiedenen Öffnungsgrößen (1/4 Zoll, 1/2 Zoll und 1 Zoll) erhältlich. Die Anschlussgrößen variieren von 1/4 bis 1-1/4 Zoll und können über Parflare, Pargrip oder Nippon Pillar S300 Endanschlüsse versorgt werden.

Der Körper des Schlammventils der Produktserie PV-20 wird aus 100 % ultra-hochreinem PTFE gefertigt, um eine erstklassige Chemikalienbeständigkeit zu gewährleisten. Durch diesen Umstand in Kombination mit einer einteiligen modifizierten PTFE-Membran, erhält das Ventil eine ausgezeichnete Flexibilität und einen Maximalzyklus bei Drücken bis 100 psig. Das Ventil allein ist sehr kompakt, sodass der Bediener wichtigen Reinraum- und Sub-Fab-Platz sparen kann.

Der gewinkelte und gerundete Durchflussweg der Produktserie PV-20 sowie eine offene und glatte Schüsselform um die Membran minimieren Turbulenzen und beseitigen spitze Winkel, die eine Fluidscherung auslösen. Dadurch wird der Partikeleinschluss reduziert und ein höherer Schutz gegen Korrosion gewährleistet.

Durch seine Bauweise ist das Ventil insgesamt besonders für den Transport abrasiver und korrosiver Schlämme geeignet, beispielsweise Schlämme, die bei den CMP-Verfahren (chemisch-mechanisches Polieren) für die Halbleiterfertigung zu finden sind. Die Produktserie PV-20 eignet sich ebenfalls für zahlreiche andere Verarbeitungs- und Analyseanwendungen in Reinräumen, wie die Regelung des Durchflusses von Säuren, Chemikalien und DI-Wasser.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Merkmale/Vorteile:
• Erstklassige Korrosionsbeständigkeit
• Gleichmäßig verteilte Sitzdichtungskräfte minimieren die Membran- und Ventilsitzspannung und stabilisieren gleichzeitig die Ventilgegendruckkapazität
• Eine maximierte Membrandicke minimiert das Permeationspotenzial und maximiert gleichzeitig die Zykluslebensdauer
• Die Konstruktion mit Selbstentleerung trägt zur Zuverlässigkeit beim Einsatz mit aggressiven Flüssigkeiten in einem offenen System bei.
• Konform mit der Norm SEMI-F57-0301 für Polymerkomponenten
• Umgebungstemperaturbereich: 0 °F bis +150 °F (-17 °C bis +66 °C)
• Fluidtemperaturbereich: 0 °F bis +266 °F (-17 °C bis +130 °C)
• Voll funktionsfähig bis zu einem Vakuum von 100 psig

Anwendungen:
• Halbleiterwerkzeuge
• Werkzeuganschlüsse
• Verteilungssysteme für schlammige und aggressive Chemikalien
• DI-Wasser

Luftbetätigtes UHP PTFE-Schlammventil (bis 1 Zoll) – Produktserie PV-20