Die Modelle SQ2Micro (0,06 Cv) und SMSQ2Micro130E (0,15 Cv) der Veriflo Division von Parker sind die fortschrittlichsten UHP-Miniaturdruckregler auf dem Markt. Die Produktserie bietet eine extrem genaue und zuverlässige Druckregelung, die die Leistung von Massenstromreglern (MFC) verbessert. Diese sind ein wichtiger Faktor für die Wiederholgenauigkeit und den Durchsatz bei der Halbleiterfertigung. Diese Produktserie überzeugt auch durch eine erstklassige Leckagesicherheit und geringe Entstehung von Partikeln für eine geringere Kontamination des Verfahrens, was bei der Halbleiterfertigung unerlässlich ist.

Diese Regler sind für den Einsatz sowohl mit Inertgasen als auch korrosiven Gasen geeignet und besitzen ein hervorragendes Ansprechverhalten bei Änderungen der Durchflussanforderungen mit Stufenfunktion. Die Produktserie verfügt über ein selbstzentrierendes Design mit gebundener Membran, das für eine zuverlässige Sitzabdichtung und Druckregelung sorgt. Die Entstehung und der Einschluss von Partikeln werden durch die nicht vorhandene Tellerfeder und das nicht vorhandene Gewinde zur Sitzsicherung minimiert, was die Sauberkeit des Prozesses und die Durchspülleistung erhöht.

Die benetzten Komponenten der Produktserie SQ2Micro sind aus Spezialmetallen gefertigt, um eine erstklassige Korrosionsbeständigkeit und Leckagesicherheit zu gewährleisten. Der Körper besteht aus intern elektropoliertem Vericlean™ Edelstahl 316L. Vericlean™ ist ein patentierter Edelstahl der UHP-Klasse von Parker. Die Membran und der Teller bestehen aus Hastelloy C-22®. Diese Materialien verleihen der Produktserie SQ2Micro zusammen mit den anspruchsvollen Designmerkmalen extreme Korrosionsbeständigkeit und die maximale Lebensdauer bei einem Eingangsdruck von bis zu 250 psig.

Sowohl SQ2Micro und SQ2Micro130E bestechen durch einen geringen Platzbedarf auf demselben Raum wie Veriflo Quantum Ventile. Ein A-Körper ist mit einem Innenflächendichtungs-Niederdruckanschluss für Manometer- und Transducerinstallationen erhältlich. Ziehen Sie bei Oberflächenmontageanwendungen die Produktserie SMSQ2Micro in Betracht.

Die interne (Sitz-)Dichtung und die externen Metalldichtungen in allen Reglern der Produktserie SQ2Micro wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung mithilfe eines Massenspektrometers unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen UHP-Anwendungen zu gewährleisten.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Merkmale und Vorteile:
• Extrem geringe Partikelanzahl
• Die gebundene Membran benötigt keine Federn in medienberührten Bereichen und verbessert die Sicherheit
• 0,06 Cv für SMSQ2Micro, 0,15 Cv für SMSQ2Micro130E
• Auslassdruckwerte von -10 psig bis 60 psig
• Interne Leckagerate: ≤5 x 10-8 scc/s He
• Externe Leckagerate: ≤2 x 10-10 scc/s He
• 5 Mikrozoll (Ra) elektropolierte Oberfläche
• -40 °F bis +150 °F (-40 °C bis +66 °C) Betriebstemperaturbereich

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Halbleiterwerkzeuge
• Werkzeuganschlüsse
• Gasschränke
• Ventilboxen (VMB)

Hastelloy C-22® ist eine eingetragene Marke von Haynes International, Inc.
VeriClean™ ist eine Marke der Parker Hannifin Corporation

UHP-Druckregler mit gebundener Membran (bis zu 250 psig) – Produktserie SQ2Micro