Die UHP-Metallflächendichtungsverbindungen, Schlauchanschlüsse, Kappen und Muttern von Parker Veriflo in SEMI F20-Werkstoff bieten kostengünstige Lösungen und garantieren die von Parker bekannte Qualität, Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit.
Die Metallflächendichtungsverbindungen von Parker sind für kritische Anwendungen konzipiert, bei denen hochreine Zustände benötigt werden. Passdichtung und Ringform sorgen für eine Metall-Metall-Dichtung von hoher Integrität und zuverlässige Betriebseigenschaften vom Vakuum bis zum positiven Druck. Die Rauheit der Innenflächen von Metallflächendichtungsverbindungen mit Standardoberfläche beträgt durchschnittlich 10 µin. (0,25 µm) Ra. Die Rauheit der Innenflächen von Verschraubungen mit PE-Oberfläche beträgt durchschnittlich 5 µin. (0,13 µm) Ra und medienberührter UHP-Oberflächenzustand.
Parker verwendet eine patentierte TorqTite™-Dichtung, die anfänglich die innere Verjüngung berührt und eingeschlossene Verunreinigungen radial nach außen drückt, wobei der gleichmäßige Übergang im Innendurchmesser Einschlussbereiche minimiert.
Die Produktlinie an UHP-Metallflächendichtungsverbindungen ermöglicht es Parker, in Herstellungsanwendungen Lösungen zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten, und sie ergänzt die geschweißten Produktserien VacuSeal und Mini, deren robuste Konstruktion ideal für kritische Anwendungen am Halbleiter-Tool ist.

Märkte:
• Halbleiterfertigung

Merkmale/Vorteile:
• Dank der kompakten Konstruktion sind eine Miniaturisierung des Systems und Blockausführungen möglich
• Materialnachverfolgbarkeit über permanent eingeätzte Codes auf medienberührten Komponenten
• Permanente Produktkennzeichnung weist Hersteller, Material und ggf. Innenbearbeitung aus
• Die Verbesserte Silberbeschichtung der Mutter fördert eine konsistente und einfache Montage
• Kontrollierte medienberührte Oberflächen erfüllen die strengen Anforderungen von Systemen mit extrem hoher Reinheit, indem Sie ein Ausgasen verhindern und Korrosion hemmen
• Die patentierte Torqtite™-Dichtung fördert die Abdichtung von beschädigten Toroiden und verhindert eine Lockerung durch Vibrationen oder Thermozyklen

Anwendungen:
• Werkzeuganschluss
• Ventilboxen
• Gasschränke