Das Membranventil der Produktserie 945Y vereint zwei Ventile in einem kompakten Ventilkörper, wodurch die Integration eines Abführsystems in einen Gasverteiler vereinfacht und die Effektivität der Abführung gesteigert wird. Die Produktserie bietet ausgezeichnete Leckagesicherheit, hohe Zykluslebensdauer und geringe Partikelentstehung vom Vakuum bis 3.500 psig. Dadurch eignet sie sich für den Einsatz in Hochdruck-UHP-Halbleiteranwendungen wie Gasschränken, Ventilboxen (VMBs) und vorgeschaltete Prozessleitungen.

Das Ventil der Produktserie 945Y ist mit einer Vielzahl von manuellen Bedienelementen und druckluftbetätigten Aktuatoren erhältlich. Die feder- und gewindelose Innenbauform minimiert die Entstehung und den Einschluss von Partikeln für extreme Sauberkeit und eine geringere Prozesskontamination. Das einzigartige Kompressionselement des Ventils sorgt für eine gleichmäßige Belastung der Dichtung ganz ohne Gewindekomponenten und Crimpverbindungen.

Die einzigartige Bauform der Produktserie 945Y regelt Sitz- und Membranbelastungen, um einen zuverlässigen und wartungsfreien Betrieb während der gesamten Lebensdauer zu gewährleisten. Die medienberührten Komponenten sind aus dem patentierten, intern elektrogereinigten VeriClean™ Edelstahl 316L von Veriflo gefertigt. Die Sitzmaterialien sind in PCTFE, PEEK™ oder Vespel® verfügbar und sind mit vielen gefährlichen und inerten Prozessfluiden kompatibel. Die Membran des Ventils besteht aus einer hochfesten Legierung auf Kobaltbasis. Diese Materialien verleihen der Produktserie 945Y zusammen mit den anspruchsvollen Designmerkmalen extreme Korrosionsbeständigkeit, Zuverlässigkeit und Sauberkeit bei extrem hohen Eingangsdrücken.

Die Komponenten der Produktserie 945Y werden in verschiedenen Durchflusswegkonfigurationen vorgeschaltete, nachgeschaltete und gemeinsame Durchspülanwendungen angeboten. Das Volumen ungenutzter interner Abschnitte wird minimiert, um eine effektivere Durchspülung zu gewährleisten. Die druckluftgesteuerten Ventile können konfiguriert werden, um die geöffnete/geschlossene Stellung mithilfe eines Begrenzungsschalters anzuzeigen.

Alle Ventile der Produktserie 945Y werden in einem Reinraum der Klasse 100 hergestellt. Die internen (Sitz-)Dichtungen und die externen Metalldichtungen wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung mithilfe eines Massenspektrometers unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen UHP-Anwendungen zu gewährleisten.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Merkmale/Vorteile:
• Y-Ventil-Konfiguration ermöglicht eine Mischung verschiedener Bedienerkombinationen und reduziert die Platzanforderungen
• 10 Mikrozoll (Ra) elektrogereinigte Oberfläche
• Lange Lebensdauer (einschließlich bei Einsatz in korrosiver Umgebung)
• Die feder- und gewindelose Innenbauform minimiert Partikelansammlungen und Gaseinschlüsse
• Voll funktionsfähig bis zu einem Vakuum von 3.500 psig
• Interne Leckagerate: ≤1 x 10-9 scc/s He
• Externe Leckagerate: ≤2 x 10-10 scc/s He
• 75-psig-Nenndruck für die AOP-Betätigung
• Cv 0,25 (HP, NC, NO, I), Cv 0,18 (M), Cv 0,17 Abführventil

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Halbleiterwerkzeuge
• Werkzeuganschlüsse
• Gasschränke
• Ventilboxen (VMB)

Vespel® ist eine eingetragene Marke von DuPont Performance Elastomers L.L.C.
VeriClean™ ist eine Marke der Parker Hannifin Corporation
PEEK™ ist eine Marke von Victrex plc.

Hochdruck-Y-Membran-Ventil für ultra-hochreine Anwendungen (UHP) – Produktserie 945Y