Das oberflächenmontierte Membranventil (Gehäusegrößen 1-1/8 und 1-1/2 Zoll) der Produktserie SM930 von Parker mit Edelstahlkörper bietet eine hervorragende Leckagesicherheit, eine lange Lebensdauer und geringes Entstehen von Partikeln, wodurch es sich ideal für UHP-Halbleiteranwendungen eignet.

Die Bauform der Produktserie SM930 besitzt keine Gewinde oder Federn, die mit dem Prozessfluid in Kontakt kommen, was die Entstehung und den Einschluss von Partikeln minimiert und die Kontamination des Verfahrens reduziert. Dies ist vor allem bei Halbleiteranwendungen besonders wichtig. Die anspruchsvolle Bauform des Ventils regelt Sitz- und Membranbelastungen, um einen zuverlässigen und wartungsfreien Betrieb während der gesamten Lebensdauer zu gewährleisten. Die benetzten Komponenten der Produktserie SM930 sind aus Spezialmetallen gefertigt, um eine erstklassige Korrosionsbeständigkeit und Leckagesicherheit zu gewährleisten. Der Körper besteht aus intern elektropoliertem Vericlean™ Edelstahl 316L. Vericlean™ ist ein patentierter Edelstahl der UHP-Klasse von Parker. Die Membran besteht aus einer hochfesten Legierung auf Kobaltbasis. Die Produktserie SM930 ist auch mit den Sitzmaterialien PCTFE, PEEK® und Vespel® erhältlich, um die Kompatibilität von SM930 mit einer großen Auswahl an Prozessfluiden zu ermöglichen. Diese Materialien verleihen der Produktserie SM930 zusammen mit den anspruchsvollen Designmerkmalen extreme Korrosionsbeständigkeit und die maximale Lebensdauer bei einem Eingangsdruck von bis zu 250 psig.

Die druckluftbetätigten Ventile der Produktserie SM930 können konfiguriert werden, um die geöffnete/geschlossene Stellung mithilfe eines Begrenzungsschalters oder eines Annäherungsschalters anzuzeigen. Die Modelle sind auch in verschiedenen Gehäusekonfigurationen erhältlich, darunter die Ausführungen 930Y (Y-Ventil) und 930 (Flanschdichtung und Rohrstutzenanschluss).

Die interne (Sitz-)Dichtung und die externe Metalldichtung in allen Ventilen der Produktserie SM930 wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung mithilfe eines Massenspektrometers unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen UHP-Anwendungen zu gewährleisten.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Merkmale/Vorteile:
• Erhältlich in oberflächenmontierten C- und W-Dichtungsgehäusegrößen (1-1/8 Zoll und 1-1/2 Zoll)
• 5 Mikrozoll (Ra) elektropolierte Oberfläche
• Lange Lebensdauer (einschließlich bei Einsatz in korrosiver Umgebung)
• Die feder- und gewindelose Innenbauform minimiert Partikelansammlungen und Gaseinschlüsse
• Voll funktionsfähig bis zu einem Vakuum von 250 psig
• Interne Leckagerate: ≤1 x 10-9 scc/s He
• Externe Leckagerate: ≤2 x 10-10 scc/s He
• 75-psig-Nenndruck für die AOP-Betätigung

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Halbleiterwerkzeuge
• Werkzeuganschlüsse
• Gasschränke
• Ventilboxen (VMB)

VeriClean™ ist eine Marke der Parker Hannifin Corporation
Vespel® ist eine eingetragene Marke von DuPont Performance Elastomers L.L.C.
PEEK™ ist eine Marke von Victrex plc.

UHP-Membranventil für Oberflächenmontage – manuell/mit Druckluftbetätigung (Vakuum bis 250 psig) – Produktserie SM930