Das Edelstahl-Membranventil der Produktserie 945 von Parker bietet eine hervorragende Leckagesicherheit, eine lange Lebensdauer und geringes Entstehen von Partikeln aus Unterdrücken bis 3.500 psig. Es ist ideal geeignet für den Einsatz in ultra-hochreinen Halbleiteranwendungen, darunter Hochdruck-Prozessleitungen, Gasschränke und Ventilboxen (VMB).

Die Ventile der Produktserie 945 können manuell oder mit Druckluft betätigt werden. Die feder- und gewindelose Innenbauform beider Versionen minimiert die Entstehung und den Einschluss von Partikeln für eine geringere Prozesskontamination. Die anspruchsvolle Bauform des Ventils regelt Sitz- und Membranbelastungen, um einen zuverlässigen und wartungsfreien Betrieb während der gesamten Lebensdauer zu gewährleisten. Das einzigartige Kompressionselement des Ventils sorgt für eine gleichmäßige Belastung der Dichtung ganz ohne Gewindekomponenten und Crimpverbindungen.

Die medienberührten Komponenten der Produktserie 945 sind aus Spezialmetallen gefertigt, um eine erstklassige Korrosionsbeständigkeit und Leckagefestigkeit zu gewährleisten. Der Körper besteht aus intern elektropoliertem Vericlean™ Edelstahl 316L, der von Veriflo patentiert ist. Die Membran besteht aus einer hochfesten Legierung auf Kobaltbasis. Die Sitze der Produktserie 945 sind in PCTFE, PEEK™ oder Vespel® verfügbar und sind mit vielen gefährlichen und inerten Prozessfluiden kompatibel. Diese Materialien verleihen der Produktserie zusammen mit den anspruchsvollen Designmerkmalen extreme Korrosionsbeständigkeit und eine maximale Lebensdauer bei Betriebsdrücken von bis zu 3.500 psig. Die druckluftgesteuerten Ventile können konfiguriert werden, um die geöffnete/geschlossene Stellung mithilfe eines Begrenzungsschalters anzuzeigen.

Alle Ventile der Produktserie 945 werden in einem Reinraum der Klasse 100 hergestellt. Die interne (Sitz-)Dichtung und die externe Metalldichtung wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung mithilfe eines Massenspektrometers unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen UHP-Anwendungen zu gewährleisten.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Merkmale/Vorteile:
• Zur besseren Kontrolle der Abmessungen auf Rohrstopfen gefertigt
• 5 Mikrozoll (Ra) elektropolierte Oberfläche
• Lange Lebensdauer (einschließlich bei Einsatz in korrosiver Umgebung)
• Die feder- und gewindelose Innenbauform minimiert Partikelansammlungen und Gaseinschlüsse
• Voll funktionsfähig bis zu einem Vakuum von 300 psig
• Interne Leckagerate: ≤1 x 10-9 scc/s He
• Externe Leckagerate: ≤2 x 10-10 scc/s He
• 75-psig-Nenndruck (maximal) für die AOP-Betätigung

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Halbleiterwerkzeuge
• Werkzeuganschlüsse
• Gasschränke
• Ventilboxen (VMB)

Vespel® ist eine eingetragene Marke von DuPont Performance Elastomers L.L.C.
VeriClean™ ist eine Marke der Parker Hannifin Corporation
PEEK™ ist eine Marke von Victrex plc.

Hochdruck-Membranventil für ultra-hochreine Anwendungen (UHP) – Produktserie 945