Das Parker 970 bietet hohen Durchfluss von 0,70 Cv und eine erstklassige Leckagefestigkeit, wodurch es sich hervorragend für ultra-hochreine Halbleiter-Werkzeuganwendungen eignet, beispielsweise für Gasschränke und Ventilboxen (VMBs).

Die Produktserie 970 ist intern und extern vollständig elektropoliert, was für eine erstklassige Oberflächengüte auf allen medienberührten Oberflächen sorgt. In Kombination mit der internen, feder- und gewindelosen Bauform wird so das Gaseinschlusspotenzial verringert und die Partikelerzeugung minimiert. Der Ventilkörper ist aus hochreinem Vericlean™ Edelstahl 316L von Veriflo mit niedrigem Schwefelgehalt, wodurch er eine längere Lebensdauer und eine höhere Korrosionsbeständigkeit aufweist. Die austauschbaren Ventilsitze sind aus PCTFE gefertigt, woraus eine erstklassige Abdichtfähigkeit und niedrigere Betriebskosten resultieren.

Das Membranventil der Produktserie 970 bietet hohen Durchfluss von 0,70 Cv in einem kompakten Paket, wodurch es sich für Anwendungen mit begrenztem Platz eignet, beispielsweise in Gasschränken und Ventilboxen (VMBs). Das Ventil kann bei einem minimalen Betriebsdruck von 250 bzw. 150 psig manuell oder mit Druckluft betätigt werden.

Alle Ventile der Produktserie 970 wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung (Inboard und sitzübergreifend) mithilfe eines Massenspektrometers unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in Anwendungen zu gewährleisten, bei denen Leckagefestigkeit von größter Bedeutung ist.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt

Merkmale/ Vorteile:
• Standardmäßige Oberflächenbearbeitung mit 5 Mikrozoll Ra
• Durchflusskapazität von 0,70 Cv
• Hohe Zykluslebensdauer
• Die feder- und gewindelose Innenbauform minimiert Partikelansammlungen und Gaseinschlüsse
• Interne Leckagerate: ≤1 x 10-9 scc/s He (Nennwert)
• Externe Leckagerate: ≤2 x 10-10 scc/s He
• AOP-Betätigungsdruck: 70-125 psig Nennwert
• Innenvolumen 0,59 cm³ (mit Flächendichtungsverschraubungen)
• Maximaler Betriebsdruck: 250 psig (manuell), 150 psig (AOP)

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Gasschränke
• Gasschränke
• Ventilboxen (VMB)

VeriClean™ ist eine Marke der Parker Hannifin Corporation

Membranventil für ultra-hochreine Anwendungen (UHP) mit hohem Durchfluss – Produktserie 970