UHP-Rückschlagventil aus Edelstahl - Produktserie F9

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Die F9-Rückschlagventile sind hochreine, komplett verschweißte Teile und bieten einen hohen Cv-Wert (bis Cv = 0,90) auf kleiner Stellfläche, um Platz zu sparen. Das F9 eignet sich optimal für die Halbleiterfertigung, VMB/VMP und Gasschrankhersteller.

Technische Daten

Gehäusematerial: Edelstahl 316L VeriClean
Federmaterial: Elgiloy, gleichwertig
Dichtungsmaterial: Fluorkohlenstoff-Elastomer (FKM), Perfluorelastomer, (FFKM)
Tellermaterial: Edelstahl 316L
Sitzmaterial: Edelstahl 316
Durchfluss: Cv: 0.45 (X 0.89) (1/4" Tube Stub) - 0.90 (X 0.78) (1/4" & 1/2" Face Seal) - 0.90 (X 0.78) (3/8" & 1/2" Tube Stub)
Interne Leckagerate: Blasendicht
Externe Leckagerate: < 1 X 10-9 scc/s He (Inboard-Testmethode)
Oberflächenbearbeitung: Auslassen (10 Ra Passivieren (std), goldenes Etikett) - EP (7 Ra Elektrogereinigt, blaues Etikett)
Volumen: 0.14 inch3 / 2.29 cm3 (1/4" Face Seal Male)
Gewicht: 0,15 (1/4" Flanschdichtung, Außengewinde) - 0,07 (1/4" Rohrstutzen) lb, 2,4 (1/4" Flanschdichtung, Außengewinde) - 1,2 (1/4" Rohrstutzen) oz
Maximaler Nenneingangsdruck: Fluorocarbon Elastomer, FKM: 3000 | Perfluoroelastomer, FFKM: 1000 psig, 206 bar/Ü (Fluorkohlenstoff-Elastomer, FKM) – 68 bar/Ü (Perfluorelastomer, FFKM) barg
Maximaler Gegendruck: 3,000 (Fluorocarbon Elastomer, FKM); 1,000 (Perfluoroelastomer, FFKM) psig, 206 bar/Ü (Fluorkohlenstoff-Elastomer, FKM) – 68 bar/Ü (Perfluorelastomer, FFKM) barg
Öffnungsdruck: 0.13 bar, 2 psi
Rücksetzdruck: ≤ 2 psig, ≤ 0.13 barg
Maximale Betriebstemperatur: 66 °C, 150 °F
Minimale Betriebstemperatur: -23 °C, -10 °F

Safety Warning

Vollständige Produktbeschreibung

Das UHP-Rückschlagventil der Produktserie F9 der Parker Veriflo Division bietet verbesserte Leistung und Kompatibilität durch eine patentierte asymmetrische Federkonstruktion für einen durchgehend geräuscharmen Betrieb und eine Beschränkung auf einen niedrigeren Fluss im Vergleich zu Konkurrenzprodukten. Die beiden Dichtungsmaterialien des F9 erfüllen sämtliche Semi-Gas-Kompatibilitätsanforderungen, reduzieren die Kundenbestände und sind für einen breiteren Anwendungsbereich geeignet. Das in einem Reinraum der Klasse 100 montierte und verschlossene F9 ist für den Einsatz in ultrahochreinen Halbleiteranwendungen konzipiert.

Märkte:
• Halbleiterfertigung
• Gaskonzerne

Merkmale/Vorteile:
• Geräuschfreier Betrieb mit dem patentierten asymmetrischen Federdesign
• Die geschweißte Konstruktion reduziert den Platzbedarf
• Zwei Dichtungen für alle Anforderungen für eine SEMI-Gasverträglichkeit
• In einem Reinraum Klasse 100 montiert und verschlossen
• Elektrogereinigte (EP) Version für Anwendungen mit höchstem Reinheitsgrad erhältlich
• VeriClean™ Edelstahl 316L verbessert die Elektroreinigung und Korrosionsbeständigkeit

Anwendungen:
• Ventilboxen/Bedienpulte
• Gasschränke
• Gasstäbe
• Werkzeuganschluss

Zugehörige Dokumente („Ehemals Produktsupport“)

Literature and Reference Materials
Veriflo Product Selection & Operation Safety Guide
Veriflo--F9 Series - Technical Data Sheet

UHP-Rückschlagventil aus Edelstahl - Produktserie F9 | Product Series

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UHP-Rückschlagventil aus Edelstahl - Produktserie F9

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Zugehörige Dokumente („Ehemals Produktsupport“)