パーフレアシリーズPFAチューブ継手は、半導体工場のチューブ配管及び半導体製造装置の接続を含む、超高純度(UHP)及び/または腐食性化学薬品処理システムで使用するために設計されています。継手設計により、最小のデッドボリューム（滞留する可能性のある容積）でリークの無い接続が得られ、サイドローディング及び振動アプリケーションに使用できます。


パーフレアシリーズチューブ継手は、半導体グレードの材料で製作されており、プロセスの清浄度が重要であるオペレーションにおいて性能と信頼性を保証します。
継手ボディは高純度のPFA製で、表面パーティクル、全有機炭素(TOC)及びアニオンの発生を最小限に抑えます。




継手は様々なサイズ(1/4インチ〜1インチ)及び種類で利用可能で、顧客システムの独自の要件を満たします。多くの種類にはレディフレア接続が付属しており、スペースを節約し、バルブマニホールドボックス(VMB)などの狭い場所での使用に有利になります。パーフレアシリーズチューブ継手の精密な設計により、接続が容易になり、従って配管組立時間が短縮され、要求の厳しいUHPアプリケーションにおけるダウンタイムを最小限にし、リークの無い接続が保証されます。



接続は、外部熱源とPTFE製マンドレル(MFTマニュアルフレアツール)を使用した加熱フレア処理、またはパーカーのオプションのFGシリーズ電気フレアガンを使用して行います。


UHP PFAチューブ溶着ボンド継手については、パーカーチューブボンドシリーズ継手を参照してください。

市場:
• 半導体
• 分析ラボ
• 医薬品
• バイオ医薬品
• 航空宇宙
• 産業


特長/利点:
• 従来のねじ継手よりリークの可能性が低減されます。
• サイドローディング及び振動アプリケーションに使用できます。
• 様々なサイズ(1/4インチ〜1インチ)及び種類があります。
• PVDF製ナットが標準ですが、特定アプリケーション用にPFA製またはチタン酸塩充填PFA製ナットを供給できます。
• レディフレア接続によりスペースが節約され、接続時間が短縮されます。
• 最高作動温度:PVDFナット - 最高100⁰C;PFAナット - 最高130⁰C;HTナットアセンブリー:>130⁰C
• 圧力範囲情報


アプリケーション:
• 腐食性及び/または特殊化学薬品、酸、塩基、及びスラリー
• 半導体製造装置内配管
• 工場と半導体製造装置の接続
• バルブマニホールドボックス(VMB)
• CMP/スラリーシステム