パーカー935シリーズステンレス鋼ダイアフラムバルブは、優れた低い漏れ特性とガス封じ込め機能を備えていて、半導体製造プラントを含む高流量UHPアプリケーションで使用するのに理想的です。935Aと935Tは、位置表示器を備えていて、オペレータはバルブが開いているか閉じているかを簡単に判断することができます。上流側と下流側のパージポートはオプションです。

935シリーズは、信頼性の高いポジティブなステム格納を行うタイドダイアフラムバルブ設計を特徴としていて、内部スプリングレス及びスレッドレスになっています。これは、ベローズバルブに固有な表面積とガス閉じ込めポテンシャルを小さくし、パージが簡単になり、粒子生成が最小限に抑えられます。

ドーム型ダイアフラムは、本体への金属間シールを作り出し、ストロークを最大にしながら、ダイアフラム溶接部の応力を低く維持することができます。

バルブ本体は、内部を電解研磨されたVericlean™ 316Lステンレス鋼です。Vericlean™は、パーカー独自のUHPグレードのステンレス鋼です。バルブシートは、PCTFEまたはVespel®のどちらでも利用できます。

すべての935シリーズバルブの内部(シート)シールとメタル外部シールは、質量分析計を使用したヘリウム漏れ試験が行われ、要求の厳しいUHPアプリケーションで性能と信頼性を保証します。

市場：
• 流体及びガス取り扱い
• プロセス制御
• 半導体
• 分析ラボ
• 医薬品
• バイオ医薬品
• 航空空中
• 産業

特長と利点：
• 高流量、低圧アプリケーションに理想的
• 10マイクロインチRaの標準表面仕上げ
• 真空から300 psigまで完全に機能します。
• 粒子生成とガス閉じ込めを最小限に抑えます。
• 金属間外部シール
• タイドダイアフラムは、湿潤エリアのスプリングを排除し、安全を強化します。
• 開閉バルブ位置表示器
• 内部漏れ率：≤4 x 10-9 scc/sec He
• 外部漏れ率：≤2 x 10-10 scc/sec He
• バルブシートはPCTFE (標準)またはVespel®のどちらでも利用できます。
• 2ポート、マルチターンハンドホイール

アプリケーション：
• 腐食ガスと特殊ガス
• ガス配給システム
• バルク特殊ガスシステム (BSGS)

Vespel®は、DuPont Performance Elastomers L.L.C.の登録商標です。
VeriClean™は、Parker Hannifin Corporationの商標です。

UHPステンレス鋼タイドダイアフラムバルブ(最大300 psig) – 935シリーズ