MV-20シリーズは、半導体やクリーンエリアのアプリケーションでの研磨スラリーメディアや攻撃性のある液体の流量制御に使用されるPTFEフッ素ポリマー製の手動ダイアフラムバルブです。バルブの流路設計は、最小限の圧力降下を生じさせるため、上流側の低圧力要件と流体の流動力学の改善を可能にします。2方向および3方向の構成で利用可能であり、3つのオリフィスサイズ（1/4インチ、1/2インチ、1インチ）を備えています。ポートサイズは1/4インチから1-1/4インチまでの範囲で、Parflare、Pargripまたは日本ピラーS300エンドコネクションで供給されます。

MV-20シリーズスラリーバルブの本体は、優れた化学耐性を持つ純度100%の未加工PTFEから作られています。これに加えて、一体型変更PTFEダイアフラムを使用することで、バルブに優れた柔軟性と最大100psigまでの圧力での最大サイクルを提供します。バルブ自体も非常にコンパクトなため、オペレーターはクリーンルームやサブファブの重要なスペースを節約することができます。

MV-20シリーズの角度が付いた丸みを帯びた流路と、ダイアフラムの周りの開放的で掃除されたボウル形状は、乱流を最小限に抑え、流体せん断を引き起こすことができる鋭角を排除します。これにより粒子の閉じ込めが減少し、腐食に対する保護が増します。

全体的に、バルブの設計は、CMP（化学機械平坦化または化学機械研磨）プロセスで使用される半導体製造などで見られる研磨性および腐食性のスラリー流体を扱うのに特に適しています。MV-20シリーズは、酸、化学薬品、DI水の流れを制御するなど、他の多くのクリーンエリア処理および分析アプリケーションにも適しています。

MV-20シリーズの内部（シート）シールは、高いリーク完全性と最小限の粒子生成が最も重要なクリーンエリアアプリケーションでの性能と信頼性を確保するためにヘリウムリークテストを受けています。

MV-20シリーズスラリーバルブのエア駆動バージョンについては、PV-20シリーズを参照してください。

市場：
• 半導体
• 分析実験室
• 製薬
• バイオファーム
• 航空宇宙
• 産業

特徴/利点：
• 腐食に対する優れた耐性
• 均一に分散されたシートシーリング力は、ダイアフラムとバルブシートの負担を最小限に抑え、バルブの背圧能力を安定させます
• 最大化されたダイアフラムの厚さは、透過の可能性を最小限に抑えながらサイクル寿命を最大化します。
• 自己排水設計は、開放ループシステムで攻撃性のある液体を使用する際の信頼性を支援します
• ポリマーコンポーネントに関するSEMI-F57-0301規格に準拠
• 周囲温度範囲：0°F から +150°F (-17°C から +66°C)
• 流体温度範囲：0°F から +266°F (-17°C から +130°C)
• 真空から100psigまで完全に機能

アプリケーション：
• 半導体ツール
• ツールフックアップ
• スラリーおよび攻撃性化学物質配布システム
• DI水

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UHP PTFEマニュアルスラリーバルブ（最大1インチ）- MV-20シリーズ