Veriflo DivisionのFR1300シリーズレギュレータは、最大600 psigの入口圧力で高い流量能力を提供する単段圧力低減レギュレータです。シリンダーやポイントオブユースのバルクガス用途に最適な選択肢です。
標準のHastelloy C-22®ダイアフラムは、その全動作範囲にわたって安定した制御を提供し、金属対金属のダイアフラムシールは高いリーク完全性を保証します。
FR1300シリーズは、Parker製品が期待される品質、信頼性、およびパフォーマンスレベルを、非常に競争力のある価格で提供します。この新しいラインは、現在のプレミアムHF1200シリーズレギュレータを補完し、半導体製造の幅広い用途に対応します。

市場：
• 半導体ファブ設置
• ガス会社

製品の特徴：
• 316Lステンレス鋼ボディ
• 超高純度半導体ガス用途のために製造
• 金属対金属のダイアフラムシール
• 10 μ in. Ra表面仕上げ
• パッシベーション＆エレクトロポリッシュ
• 標準のHastelloy C-22®ダイアフラム
• 流量容量：1.2 Cv
• 最大1200 slpm (42 scfm)の流量

用途：
• ツールフックアップ
• 「ポイントオブユース」圧力調整

Hastelloy®はHaynes International, Inc.の登録商標です。

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UHP単段、高流量、圧力低減レギュレータ - FR1300シリーズ