パーカーSM930シリーズ表面実装ステンレス鋼ボディダイアフラムバルブ (1-1/8及び1-1/2インチのボディサイズ)は、優れた低い漏れ特性、高いサイクル寿命及び低い粒子生成特性を備えていて、UHP半導体アプリケーションで使用するのに理想的です。

SM930シリーズの設計は、プロセス流体と接触するネジまたはスプリングがないため、粒子の生成と取り込みが最小限になり、半導体アプリケーションに不可欠なプロセス汚染を低減します。バルブの厳格な設計は、シートとダイアフラムの応力を制御し、信頼性の高いメンテナンスフリー耐用年数を提供します。SM930シリーズの湿潤コンポーネントは、特殊な金属から製造されており、並外れた耐食性と低い漏れ特性を備えています。本体は、内側を電解研磨されたVericlean™ 316Lステンレス鋼です。Vericlean™は、パーカー独自のUHPグレードのステンレス鋼です。ダイアフラムは、高強度コバルト系合金です。SM930シリーズも、シート材にPCTFE、PEEK®及びVespel®を使用しており、SM930は幅広いプロセス流体と互換性があります。これらの材料は、SM930シリーズの厳格な設計機能と組み合わされ、最大250 psigの入口圧力で、徹底的な耐食性と最大サイクル寿命をSM930シリーズに付与しています。

SM930シリーズエア作動式バルブは、リミットスイッチまたは近接スイッチのいずれかを使用して開閉位置を表示するように構成することができます。930Y (Y-バルブ)と930 (面シールとチューブスタブのポーティング)を含むマルティボディ構成にすることもできます。

すべてのSM930シリーズバルブの内部(シート)シールとメタル外部シールは、質量分析計を使用したヘリウムリークテストが行われ、要求の厳しいUHPアプリケーションで性能と信頼性を保証します。

市場：
• 半導体
• 分析ラボ
• 医薬品
• バイオ医薬品
• 航空宇宙
• 産業

特長/利点：
• C及びWシール表面実装1-1/8インチと1-1/2インチのボディサイズのものがあります。
• 5マイクロインチ(Ra)電解研磨表面仕上げ
• 高いサイクル寿命（腐食性使用条件を含む）
• 内部スプリングレス及びスレッドレス設計は、粒子生成とガス閉じ込めを最小限に抑えます。
• 真空から250 psigまで完全に機能します。
• 内部漏えい率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部漏えい率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 75 psig公称、AOP作動圧力

アプリケーション：
• 腐食性ガスと特殊ガス
• 半導体ツール
• ツール接続
• ガスキャビネット
• バルブマニホールドボックス (VMB)

VeriClean™は、Parker Hannifin Corporationの商標です。
Vespel®は、DuPont Performance Elastomers L.L.C.の登録商標です。
PEEK™は、Victrex plc.の商標です。

UHP表面実装ダイアフラムバルブ – 手動またはエア作動式(真空～250 psig) – SM930シリーズ