Parker 17Rシリーズステンレス鋼ダイアフラムバルブは、高サイクル寿命を実現し、高流量バルク供給および特殊ガスシステムに対して確実な遮断を提供します。手動または空気操作が可能であり、信頼性と清潔さが重要な超高純度半導体製造アプリケーションでの使用に設計されています。

17Rシリーズバルブは、特別な材料を使用して製造され、優れた耐食性とリークインテグリティを提供します。本体と下部ステムは、Verifloの独自の低硫黄VeriClean™ 316Lステンレス鋼で製造され、内部は電解研磨されています。ダイアフラムは高強度のコバルトベース合金です。シート材料はPCTFE（標準）またはポリイミドが利用可能で、17Rシリーズをさまざまな腐食性および不活性プロセス流体に使用することができます。バルブの精密な設計機能に加えて、シートおよびダイアフラムの応力を制御し、メンテナンスフリーのサービス寿命を提供することに加えて、17Rシリーズの材料は、最大3,000 psigの作動圧力で極めて高い耐食性と優れた信頼性を提供します。

すべての17Rシリーズバルブは、クラス100のクリーンルームで製造されています。内部（シート）シールと金属外部シールは質量分析計を使用してヘリウムリークテストが行われています。また、要求の厳しいUHP半導体製造アプリケーションでの性能を保証するために、2,000～2,500 psigで外部スニッファープローブを使用した生産リークテストも実施されています。

市場：

• 半導体

• 分析実験室

• 製薬

• バイオファーム

• 航空宇宙

• 産業

用途：

• 特殊ガスバルク供給システム（BSGS）

• バルク供給システム

• ツールフックアップ

• ガスキャビネット

• バルブマニホールドボックス（VMB）

特長/利点：

• UHP流体システムに対して高流量と確実な遮断を提供

• 10マイクロインチ（Ra）の電解研磨表面仕上げ

• 高サイクル寿命（腐食性サービスを含む）

• 真空から3,000 psigまで完全に機能する

• 内部リーク率：< 4 x 10-9 scc/sec He

• 外部リーク率：< 1 x 10-9 scc/sec He

• 2,000～2,500 psigで外部スニッファープローブを使用した生産リークテスト

• 手動（0.80 Cv）または空気操作（0.75 Cv）が可能

VeriClean™はParker Hannifin Corporationの商標です

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超高純度（UHP）高流量・高圧ダイアフラムバルブ–17Rシリーズ