Parker 18Rシリーズスプリングタイプステンレススチールダイアフラムバルブは、高サイクル寿命を提供し、高流量バルクデリバリーおよび特殊ガスシステムに対して確実な遮断を実現します。手動または空気操作が可能で、リークの完全性と清潔さが成功の鍵となる超高純度半導体製造アプリケーションでの使用を目的として設計されています。

18Rシリーズバルブは、特別な材料から製造され、優れた耐食性とリークの完全性を提供します。18Rシリーズバルブの本体と下部ステムは、Verifloの独自の低硫黄、316LステンレススチールであるVeriClean™から製造され、内部は電解研磨されています。ダイアフラムは高強度コバルトベース合金です。シート材料はPCTFE（標準）またはポリイミドで利用可能で、これにより18Rシリーズは、腐食性および不活性を含むさまざまなプロセス流体で使用できます。バルブの精密な設計機能と組み合わされ、シートとダイアフラムのストレスを制御することで、これらの特殊金属は、手動設定で最大1,500 psig、空気操作設定で1,200 psigの作業圧力で、18Rシリーズに優れた耐食性と卓越した信頼性を提供します。

すべての18Rシリーズバルブはクラス100クリーンルームで製造されます。内部（シート）シールと金属外部シールは、質量分析計を使用してヘリウムリークテストされます。さらに、高流量、高圧のUHP半導体製造アプリケーションでの性能を確保するために、1,000～1,500 psigで外部スニファープローブを使用して生産リークテストが行われます。

市場：

• 半導体

• 分析実験室

• 製薬

• バイオファーム

• 航空宇宙

• 産業

用途：

• バルク特殊ガスシステム（BSGS）

• バルクデリバリーシステム

• ツールフックアップ

• ガスキャビネット

• バルブマニホールドボックス（VMB）

特長/利点：

• UHP流体システムに高流量と確実な遮断を提供

• 10マイクロインチ（Ra）電解研磨表面仕上げ

• 高サイクル寿命（腐食性サービスを含む）

• 真空から1,500 psig（手動）、1,200 psig（空気操作）まで完全に機能

• 内部リーク率：< 4 x 10-9 scc/秒 He

• 外部リーク率：< 1 x 10-9 scc/秒 He

• 1,000～1,500 psigで外部スニファープローブを使用して生産リークテスト

• 手動（1.30 Cv）または空気操作（1.00 Cv）で利用可能

VeriClean™はParker Hannifin Corporationの商標です

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超高純度（UHP）高流量・高圧ダイヤフラムバルブ - 18Rシリーズ