Parker 945シリーズステンレス鋼ダイアフラムバルブは、真空から3,500psigまで優れたリークインテグリティ、高いサイクル寿命、低い粒子生成を提供します。これは、高圧プロセスライン、ガスキャビネット、バルブマニホールドボックス（VMB）を含むUHP半導体アプリケーションでの使用に理想的です。

945シリーズバルブは、手動または空気操作のいずれかで使用できます。両バージョンともに内部にバネがなく、ねじもないため、粒子の発生と閉じ込めを最小限に抑え、プロセスの汚染を減少させます。バルブの正確な設計は、シートとダイアフラムのストレスを制御し、信頼性が高くメンテナンスフリーのサービス寿命を提供します。また、バルブには、ねじ部品や圧着作業が不要でシールを均一に荷重するユニークな圧縮部材も特長です。

945シリーズの湿潤部品は、特殊金属から製造され、優れた耐食性とリークインテグリティを提供します。本体は、Verifloの独自の内部電解研磨VeriClean™316Lステンレス鋼から作られています。ダイアフラムは、高強度のコバルトベース合金です。シート材料は、PCTFE、PEEK®、またはVespel®で提供され、945シリーズを幅広い危険および不活性プロセス流体で使用できます。これらの材料とバルブの正確な設計機能を組み合わせることで、3,500psigまでの作業圧力で極端な耐食性と優れた信頼性を提供します。空気操作バージョンは、リミットスイッチを使用して開閉位置の指示を提供するように設定できます

全ての945シリーズバルブは、クラス100クリーンルームで製造されます。内部（シート）シールと金属外部シールは、質量分析計を使用してヘリウムリークテストされ、要求の厳しいUHPアプリケーションでの性能と信頼性を保証します。

市場：

•   半導体

•   分析室

•   製薬

•   バイオファーム

•   航空宇宙

•   産業

アプリケーション：

•   腐食性および特殊ガス

•   半導体ツール

•   ツールフックアップ

•   ガスキャビネット

•   バルブマニホールドボックス（VMB）

特長/利点：

•   チューブスタブ上で機械加工され、寸法制御が向上

•   5マイクロインチ（Ra）電解研磨表面仕上げ

•   高いサイクル寿命（腐食性サービスを含む）

•   内部にバネがなく、ねじもない設計は、粒子の発生とガスの閉じ込めを最小限に抑えます

•   真空から300psigまで完全に機能

•   内部リーク率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He

•   外部リーク率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He

•   75psigの公称AOP作動圧力（最大）

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

PEEK − TM Victrex plc.

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超高純度（UHP）高圧ダイアフラムバルブ - 945シリーズ