Parker 970は、高い流量と優れた漏れ防止性能を提供し、ガスボックス、ガスキャビネット、バルブマニホールドボックス（VMB）を含む超高純度半導体ツールアプリケーションに最適です。

970シリーズの設計には、内部に湿った糸やばねがなく、粒子の生成と粒子の捕捉を最小限に抑え、プロセスの汚染を減らします。バルブの厳密な設計は、シートとダイアフラムのストレスを制御し、厳しいアプリケーションで信頼性の高いメンテナンスフリーのサービス寿命を提供します。970シリーズの湿った部品は、特殊な材料から製造され、優れた耐食性と漏れ防止性を提供します。内部の電解研磨されたボディは、Parkerの独自のUHPグレード316Lステンレス鋼、Vericlean™で製造されています。ダイアフラムは、製品寿命を最大化するための高強度コバルトベース合金であり、PCTFE、PEEK®、またはVespel®シートは、優れた化学的互換性と堅牢な遮断性能を提供します。

970シリーズのダイアフラムバルブは、高い流量、.70 Cvをコンパクトなパッケージで提供し、作業スペースが限られている状況、例えばガスボックス、ガスキャビネット、バルブマニホールドボックス（VMB）での使用に適しています。手動または空気操作が可能で、最大作動圧力はそれぞれ250および150 psigです。

全ての970シリーズバルブは、半導体業界の厳しい要件に従って洗浄され、クラス100のクリーンルーム環境で組み立てられます。出荷前には、全てのバルブシール（シートとダイアフラム）が質量分析計を使用して100%ヘリウム漏れテストを受け、要求の厳しいUHPアプリケーションでの性能と信頼性を保証します。

市場：

• 半導体

• 分析実験室

• 製薬

• バイオファーム

• 航空宇宙

• 産業

用途：

• 腐食性および特殊ガス

• 半導体ツール

• ツールフックアップ

• ガスキャビネット

• バルブマニホールドボックス（VMB）

特長/利点：

• 5マイクロインチ（Ra）の電解研磨表面仕上げ

• 高サイクル寿命（腐食性サービスを含む）

• 内部にばねやねじがない設計は、粒子の生成とガスの閉じ込めを最小限に抑えます

• 真空から250 psigまで完全に機能します

• 内部漏れ率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He

• 外部漏れ率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He

• 流量容量：.7

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

PEEK – TM Victrex plc.

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超高純度（UHP）高流量ダイヤフラムバルブ - 970シリーズ