VacuSeal™メタルガスケットフェイスシール継手は、非常に高いリーク完全性を提供し、超高純度条件が求められる重要なアプリケーション、たとえば半導体ツールの接続、バルブマニホールドボックス（VMB）、ガス配布システムなどでの使用に適しています。継手は、金属対金属のシールを作り出し、真空から9000 psigまでのリークフリーサービスを提供する、メーティングガスケットとトロイドデザインを特徴としています。

VacuSeal™継手は1/8インチから1インチのサイズで提供され、さまざまなボディとグランドの構成で利用可能です。これらは、Verifloの独自のVericlean™低硫黄、316Lステンレス鋼から、クラス100クリーンルームで製造されています。標準の5 Ra、電解研磨された濡れた表面仕上げは、優れた耐食性を提供しながら、閉じ込めエリアを減少させます。グランドは、極めて腐食性のアプリケーションでの性能と信頼性を保証するために、高純度ニッケルとHastelloy C-22®で利用可能です。

VacuSeal™継手は、平らな面とVerfiloのTorqTite™自己整列フェイスシールガスケットで動作するように設計されており、これらは設置に工具を必要とせず、熱サイクリングと振動による部品の緩みを排除します。TorqTite™は、損傷したトロイド上でもシーリングを保証し、シーリング面への損傷のリスクなしに非常に高いトルクを適用することを可能にします。これは、VacuSeal™継手の超高純度材料と組み合わされ、クリーンネスが最も重要なウェーハ製造オペレーションでの粒子生成を最小限に抑え、リーク完全性を保証します。

すべてのVacuSeal™継手は、要求の厳しいUHPアプリケーションでの性能と信頼性を保証するために、ヘリウムリークテストを受けています。

市場：
• 半導体
• ツールファブ
• 分析ラボ
• 製薬
• バイオファーム
• 航空宇宙
• インダストリアル

アプリケーション：
• 腐食性および特殊ガス
• 半導体ファブガス配布システム
• 半導体ツール
• ツール接続
• ガスキャビネット
• バルブマニホールドボックス（VMB）

特徴/利点：
• 簡単なリークテストのための2つのリークテストポート
• リーク率：≤1 x 10-9 STD scc/sec He
• 5 Ra内部電解研磨表面仕上げ
• 女性ナットは、洗浄、電解研磨、およびパッシベーションで使用される攻撃的な化学処理に対応するために、強化されためっき処理で銀めっきされています
• 非回転式女性ナットは、メイクアップ中のトルクの伝達を防ぎ、その結果、部品のねじれを最小限に抑え、応力集中を引き起こします
• 抗ガリング女性ナットは、めっきや潤滑なしで一貫したメイクアップを保証します。
• 特許取得済みのTorqTite™ガスケットは、最初に内側のテーパーに接触し、閉じ込められた汚染物質を径方向に強制的に排除します
• グランド上の熱コードは、原材料の追跡可能性を提供します
• システムからコンポーネントを取り外すために軸方向のクリアランスは必要ありません
• 内径へのスムーズな移行は、閉じ込めエリアを最小限に抑えます。

Hastelloy C-22®はHaynes International, Inc.の登録商標です。

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UHPメタルガスケットフェイスシール継手（1インチまでのサイズ）- VacuSeal™