PV-20 시리즈는 PTFE 불소 중합체 공기작동식 격막 밸브로서, 반도체 및 청결 구역 적용 부문에서 연마 슬러리 매질(media) 및 악성 유체의 흐름 제어에 사용됩니다. 밸브의 유로(flow path) 설계는 압력 강하를 최소화하여 상류의 압력 요구를 줄임으로써, 유체 흐름 역학을 향상시킵니다. 세 가지의 오리피스 크기(0.25인치, 0.5인치 및 1인치)로 양방향 및 3방향 구성이 가능합니다. 포트 크기는 0.25~1.25인치의 범위이며, 파플레어(Parflare), 파그립(Pargrip) 또는 니폰 필러(Nippon Pillar) S300 끝단(end) 연결 장치들과 함께 제공될 수 있습니다.

PV-20 시리즈 슬러리 밸브의 몸체는 탁월한 화학물질 저항성을 위하여 100% 초고순도 PTFE로 만들어졌습니다. 이것은 일체형 수정(modified) PTFE 격막과 짝을 이루어 최대 100psig까지의 압력에서도 탁월한 유연성과 최대 사이클을 가지는 밸브를 제공합니다. 밸브 자체도 매우 컴팩트하므로, 조작자들이 중요한 클린룸(cleanroom) 및 서브팹(sub-fab) 공간을 절약할 수 있게 해줍니다.

PV-20 시리즈의 각이 있거나 둥근 유로(flow path)와 격막 주위의 개방되고 쓸린(open and swept) 그릇 형태는 난류(turbulence)를 최소화하고 유체 전단[잘림, shear]을 일으킬 수 있는 예각을 제거해 줍니다. 이는 입자 포착(entrapment)을 감소시켜서 부식에 대한 보호를 강화합니다.

전반적으로, 이 밸브의 설계는 반도체 제조에 사용되는 CMP(화학-기계적 평탄화 또는 화학-기계적 연마) 공정에서 발견되는 것과 같은 연마성 및 부식성의 슬러리 유체를 취급하는 데 특히 적합합니다. PV-20 시리즈는 산, 화학물질 및 탈이온수의 흐름 제어와 같은 광범위한 기타 청결 구역 공정 및 분석 적용 부문에도 적합합니다.

시장:
• 반도체
• 분석 실험실
• 제약
• 바이오제약(BioPharm)
• 항공 우주
• 산업

특징/이점:
• 탁월한 내식성
• 균일하게 분포된 시트(seat) 밀폐력은 격막 및 밸브 시트 변형을 최소화하면서 밸브 배압(back pressure) 기능을 안정화시킵니다.
• 최대화된 격막의 두께는 투과 가능성은 최소화하면서 사이클 수명은 최대화합니다.
• 개방형 루프 시스템에서 악성 유체와 함께 사용할 때 자체 배출 설계가 신뢰성을 더해줍니다.
• 중합체 구성품들을 위하여 SEMI-F57-0301 표준을 준수합니다.
• 주변 온도 범위: 0°F ~ +150°F (-17°C ~ +66°C)
• 유체 온도 범위: 0°F ~ +266°F (-17°C ~ +130°C)
• 진공 상태에서부터 100psig까지 완벽하게 기능합니다.

적용 분야:
• 반도체 장비
• 장비 연결
• 슬러리 및 악성 화학물질 분배 시스템
• 탈이온수

UHP PTFE 공기 작동식 슬러리 밸브 (최대 1 인치) - PV-20 시리즈