"Parker 솔루션은 긴 제품 수명을 제공하도록 설계되었습니다. 즉, 고장난 씰을 교체하기 위한 유지 보수가 필요하기 전에 장비를 더 오래 가동할 수 있습니다. 당사는 PEEK, PTFE 및 충진된 PTFE 화합물을 포함한 고성능 열가소성 수지 및 엔지니어링된 플루오르폴리머로 작업한 수십 년 경력의 소재 전문성을 통해 반도체 고객의 특별한 요건을 충족하기 위해 최적의 솔루션을 설계하는 데 필요한 사항을 이해하고 있습니다. FlexiSeal 프로파일, 시리즈 FIN-H 및 FEN-H는 증착 및 에칭 작업에서 챔버와 대기압 사이에 안정적인 플랜지 및 갭 씰링을 제공합니다. 뛰어난 화학적 호환성, 열 안정성 및 극도로 낮은 마찰을 포함하는 특성을 지닌 고성능 PTFE 소재로 제조된 FlexiSeal 프로파일은 극한 환경에서도 긴 작동 수명을 제공하도록 설계되었습니다.

제품 프로파일:
정적 또는 간헐적 동적 적용 분야의 내부 또는 외부 압력을 위한 시리즈 FIN-H 및 FEN-H 페이스 씰(플랜지 씰이라고도 함)은 증착 및 에칭 작업에서 챔버와 대기압 사이에 안정적인 플랜지 및 갭 씰링을 제공합니다.

프로파일 특징:
• 적용 분야 요건에 따른 고순도 버진 또는 충진 PTFE 소재
• 향상된 씰링 능력을 위한 높은 단위 접촉 부하
• 매체 및 가스에 대해 매우 광범위한 화학적 호환성
• 최소한의 가스 배출로 침출 가능한 낮은 소재
• 넓은 온도 범위(-267.7 ~+315.6 C(-450 F~+600 F))
• 낮은 마찰
• 온도 순환 중 열화, 열 노화 및 물리적 특성 변화에 강한 긴 수명의 PTFE

씰링재 재킷 설계: 원형 립 모양은 O-링과 거의 유사한 방식으로 접합 표면과 접촉합니다. 나선형 스프링은 둥근 비드 스타일 접점과 함께 높은 단위 하중을 전달하여 씰링 능력을 향상시킵니다.

스프링 설계: H 시리즈, 나선형 스프링 나선형 스프링 설계는 높은 장치 하중으로 인해 정적 또는 간헐적 동적 적용 분야에 사용됩니다. H 시리즈 스프링은 코일 사이의 매우 작은 간격으로 하중이 각 개별 밴드에 고르게 분산되게 합니다. 좁은 공간이 거의 연속적인 부하를 제공하여 잠재적인 누출 경로를 줄입니다. 이는 높은 단위 부하와 함께 H 시리즈가 적합하도록 하거나 압력이 너무 낮아 씰에 에너지 공급이 불가능한 경우 진공 적용 분야에 적합하게 합니다.

소재:
재킷: 버진 및 충진 PTFE 화합물

스프링:
부식 방지 나선형 권선 스프링은 스테인리스강, Elgiloy, PEEK를 포함한 금속 합금으로 제공됩니다.

적용 분야:
FIN-H 시리즈: 챔버와 대기압 사이의 내부 정적 및 간헐적 동적 플랜지 및 간극 씰링용
FEN-H 시리즈: 챔버와 대기압 사이의 외부 정적 및 간헐적 동적 플랜지 및 간극 씰링용 "

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