Parker  930 시리즈 1-1 / 8 인치 스테인레스 스틸 바디 다이어프램 밸브는우수한 누출 방지성, 높은 사이클 수명 및 낮은 입자 생성을 제공하여 UHP 반도체 적용 분야에 이상적입니다.

930 시리즈 디자인에는공정 액체와 접촉하는 나사 또는 스프링이 없어서 입자 생성 및 포집을 최소화하므로 반도체 적용 분야에 필수적인 감소된 공정 오염을 보장해줍니다.  밸브의 엄격한 설계로 시트 및 다이어프램 응력을 제어하여 신뢰성있고 유지 보수가 필요없는 서비스 수명을 제공합니다.  930 시리즈의 습식 (유체와 접촉) 부품들은 탁월한 내식성과 누출 방지성을 제공하기 위해 특수 금속으로 제조됩니다.  몸체는 내부적으로 전해 연마된 Vericlean ™ 316L 스테인레스 스틸입니다.  Vericlean ™은 Parker 의 독점적인 UHP급 스테인레스 스틸입니다.  다이어프램은 고강도 코발트 기반 합금입니다.  930 시리즈는 또한 시트 재료 PCTFE, PEEK® 및 Vespel®을 제공하여 930이 다양한 공정 유체들과 호환되게 해줍니다.  930 시리즈의엄격한 설계 특징과 결합된 이 재료들은 955 시리즈의 극도의 내식성과 최대 300 psig의 입구 압력에서의 최대 사이클 수명을 제공합니다.

930 시리즈 공기 작동식 밸브는 리미트 스위치 또는 근접 스위치로 개폐 위치 표시를 제공하도록 구성될 수 있습니다.  또한 930Y (Y-밸브) 및 SM930 (표면 장착) 등의 복수의 몸체 구성 버젼도 가용합니다.

모든 930 시리즈 밸브의 내부 (시트) 씰과 금속 외부 씰은 질량 분광계를 사용하여 헬륨 누출 테스트를 거침으로서 까다로운 UHP 적용 분야에서 성능과 신뢰성을 보장합니다.

시장 :
• 반도체
• 분석 실험실
• 제약
• 바이오 의약
• 항공 우주
• 산업

특징 / 장점 :
• 5 마이크로 인치 (Ra)의 전해 연마 표면 처리
• 높은 사이클 수명 (부식 서비스 포함)
• 내부적으로  스프링없고 나사없는 디자인으로 입자 생성 및 가스 포착 최소화
• 진공에서 300 psig까지 온전히 기능함
• 내부 누출율: ≤ 1 x 10-9 scc / sec He
• 외부 누출율: ≤ 2 x 10-10 scc / sec He
• 75 psig 공칭 AOP 작동 압력

적용 분야 :
• 부식 및 특수 가스
• 반도체 툴
• 공구 훅업
• 가스 캐비닛
• 밸브 매니폴드 박스 (VMB)

Vespel®은 DuPont Performance Elastomers L.L.C의 등록 상표임.
VeriClean ™은 Parker  Hannifin Corporation의 상표임.
PEEK ™는 Victrex plc의 상표임.

UHP 다이어프램 밸브 - 수동 또는 공기 작동식 (진공에서 300 psig) - 930 시리즈