Parker의 Veriflo 부문의 SQ2Micro(0.06 Cv) 및 SMSQ2Micro130E(0.15 Cv) 는, 가장 발전된 소형 UHP 압력 레귤레이터입니다. 이 시리즈는 압력을 매우 정밀하고 신뢰성 있게 제어하여, 반도체 생산의 반복성과 수율에 매우 중요한 유량제어기(MFC: Mass Flow Controller)의 성능을 향상시켜줍니다. 또한, 이 시리즈는 우수한 누출 무결성과 낮은 먼지 생성일 지원하여, 반도체 분야에 필수적인 공정 오염을 줄여줍니다.

이 레귤레이터는 불활성 및 부식성 가스에 적합하며, 단계 기능(step-function) 유량 수요 변화에 뛰어난 반응을 제공합니다. 이 시리즈는 자동조정(self-centering) 연결격막(tied-diaphragm)으로 설계되어, 신뢰성 있는 시트 씰링과 압력 조정을 지원합니다. 포핏 스프링과 시트 유지 나사가 없기 때문에, 먼지 생성과 포착이 최소화되어, 공정 청정도과 세정 성능이 향상됩니다.

SQ2Micro 시리즈 습식 부속품은 특수 재질로 제작되어, 뛰어난 내부식성과 누출 무결성을 제공합니다. 몸체는 내부를 전자연마 한(electropolished) Vericlean™ 316L 스테인리스스틸로 제작됩니다. Vericlean™ 은 Parker에 지적재산권이 있는 UHP 등급의 스테인리스스틸입니다. 격막과 포핏은 Hastelloy C-22® 로 되어있습니다. 이들 재질이 SQ2Micro 시리즈의 독특한 설계와 결합되어, SQ2Micro 시리즈가 최대 250 psig 의 입구 압력 조건에서 매우 뛰어난 내부식성과 최장의 수명을 가지게 됩니다.

SQ2Micro 및 SQ2Micro130E 은 모두, 차지하는 공간이 Veriflo Quantum 밸브와 동일하여, 작은 면적을 차지합니다. A-스타일 몸체는, 압력 게이지와 변환기 설치를 위해서, 내부 표면 씰의 저압 포트와 함께 제공됩니다. 표면 실장(surface mount) 조건은, SMSQ2Micro Series 를 참조하십시오.

모든 SQ2Micro 시리즈 레귤레이터에 있는, 내부 (시트) 씰과 외부 금속 씰은 질량분석계를 사용하여 헬륨 누출 검사를 거치기 때문에, UHP 조건이 요구되는 환경에서 성능과 신뢰성을 보장할 수 있습니다.

시장:
• 반도체
• 분석실
• 의약품
• 바이오의약품
• 우주항공
• 공업

특징 및 장점:
• 매우 적은 분진
• 연결격막 사용으로, 젖은 구역에 스프링이 필요 없고, 안전성이 향상됩니다.
• SMSQ2Micro의 경우 0.06 Cv, SMSQ2Micro130E의 경우 0.15 Cv
• 출구 압력 범위: -10 psi 내지 60 psi
• 내부 누출률: ≤ 5 x 10-8 scc/sec He
• 외부 누출율: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 5 microinch (Ra) 전자연마 표면 마감
• 작동 온도 범위: -40°F 내지 +150° F (-40°C 내지 +66°C)

적용:
• 부식성 및 특수 가스
• 반도체 도구
• 도구 연결
• 가스 캐비닛
• 밸브 매니폴드 박스(Valve manifold box: VMB)

Hastelloy C-22® 는 Haynes International, Inc.의 등록상표입니다.
VeriClean™ 은 Parker Hannifin Corporation의 상표입니다.

UHP 타이드 다이어프램 압력 레귤레이터 (최대 250 psig) - SQ2Micro 시리즈