Parker Veriflo의 SEMI F20 재질 UHP 등급 금속 표면 씰 피팅은 비용 효율적 수단을 제공하며, Parker의 품질, 신뢰성, 및 성능을 보증합니다.
Parker의 금속 표면 씰 피팅은, 초고순도 조건이 요구되는 결정적인 분야를 위해서 설계되었습니다. 결합되는 가스켓과 원뿔곡선 회전면(toroid) 설계는, 진공에서 양압(positive pressure)에 이르기까지 신뢰할 수 있는 작업을 위하여, 높은 견실성의 금속-금속 씰을 제공하도록 되어있습니다. 표준 마감 금속 표면 씰 피팅은 내부 표면 조도(roughness)가 평균 10 µin 입니다. (0.25µm) Ra. PE 마감 피팅은 내부 표면 조도가 평균 5 µin(0.13µm) Ra 이며, UHP 습식 표면 조건을 가지고 있습니다.
Parker는 특허등록 TorqTite™ 가스켓을 사용하며, 이 가스켓은 내부 테이퍼(taper)에 먼저 접촉하여, 모든 초착된 오염물질을 방사상으로 제거하고, 내부 원주를 향한 매끈한 변화로, 포착 면적이 최소화 됩니다.
UHP 금속 표면 씰 피팅 라인으로 인해서, Parker가 경쟁력 있는 가격으로 놀라운 영역을 완성하여, Parker의 현재의 VacuSeal 및 미니 맞대기용접 라인을 보완하게 되었으며, 이 견고한 설계가 반도체 도구의 결정적인 분야에서 최고의 성능을 보이고 있습니다.

시장:
• 제작용 반도체

특징 및 장점:
• 소형의 설계로 되어있어, 시스템을 소형화 할 수 있고, 근접 연결 배치가 가능합니다.
• 각 습식 부속품에서 영구 표시 열 코드를 통한 재질의 추적성
• 필요 시, 영구적인 제품 기호로, 제조사, 재질, 및 내부 마감 확인
• 향상된 암 너트 은도금으로, 조립이 쉽도록 해주었습니다.
• 제어된 습식 표면이, 가스 방출을 방지하고 부식을 억제하여, 엄격한 초고순도 시스템의 요건을 만족시킵니다.
• 특허등록 Torqtite™ 가스켓은, 손상된 원뿔 곡선 회전면(toroids)의 씰링을 향상시켜, 진동이나 열주기(thermo-cycling)로 인한 조립 풀림을 거의 방지해줍니다.

적용:
• 도구 연결
• 밸브 매니폴드 박스(Valve manifold box: VMB)
• 가스 캐비닛

UHP 메탈 FACE SEAL 피팅