945Y 시리즈 다이어프램 밸브는 2 개의 밸브를 하나의 컴팩트한 몸체에 결합하여 퍼지 시스템을 가스 매니폴드에 쉽게 통합하고 퍼지 프로세스의 효율을 향상시킨다. 이 시리즈는 진공으로부터 3,500 psig사이에서 우수한 누출 방지성, 높은 사이클 수명 및  낮은 입자 생성을 제공함으로서 가스 캐비넷, 밸브 매니폴드 박스 (VMB) 및 업스트림 프로세스 라인과 같은 고압 UHP 반도체 적용 분야에 사용하기에 이상적이다.

945Y 시리즈 밸브는 다양한 수동 작동기 및 공기 작동식 (AOP) 작동기와 함께 사용할 수 있다. 내부적으로 스프링이 없고 나선이 없어서 입자 생성과 포착을 최소화하여 극한의 청결성을 나타내며 공정 오염을 줄인다. 밸브에는 또한 나선형 구성 요소 없이 또는 압착 작업을 하지 않고도 씰을 균일하게 로드해주는 독특한 컴프레션 멤버가 있다.

945Y 시리즈의 독특한 디자인은 시트 및 다이어프램 응력을 제어하여 안정적이고 유지 보수가 필요없는 서비스 수명을 제공한다.  습식 부품은 Veriflo의 독점적인 VeriClean ™ 316L 내부 전해 연마 스테인리스 스틸로 제작된다.  시트 재질은 PCTFE, PEEK® 및 Vespel®을 사용할  수 있으며, 이 밸브는 광범위한 위험한 불활성 공정 유체들을  수용할 수 있다.  밸브의 다이어프램은 고강도 코발트 기반 합금으로 만들어진다.  945Y 시리즈의 엄격한 설계 특징과 결합된 이 재료들은 매우 높은 입구 압력에서 탁월한 내식성, 신뢰성 및 청결성을 제공한다.

945Y 시리즈는 업스트림, 다운스트림 및 공통 경로 퍼지 적용 분야를 수용하기 위해 여러 가지 유로 (flow path) 구성으로 제공된다.  퍼지 효율을 개선하기 위해 내부 사각 다리 부피가 최소화된다.  에어 작동 밸브는 리미트 스위치로 개폐 위치 표시를 제공하도록 구성할 수 있다.

모든 945Y 밸브는 Class 100 클린룸에서 제작된다. 내부 (시트) 씰 및 금속 외장 씰은 까다로운 UHP 적용 분야에서 성능과 신뢰성을 보장하기 위해 질량 분광계를 사용한 헬륨 누출 테스트를 거친다.

시장 :
• 반도체
• 분석 실험실
• 제약
• 바이오 의약
• 항공 우주
• 산업

특징 / 장점 :
• Y- 밸브 구성은 작업자 조합의 혼합을 허용하고 공간 요구 사항을 줄임
• 10 마이크로 인치 (Ra)의 전해 연마 표면 처리
• 높은 사이클 수명 (부식 서비스 포함)
• 내부적으로 스프링없고 나사없는 디자인으로 입자 생성 및 가스 포착 최소화
• 진공에서 3,500 psig까지 완벽하게 기능함
• 내부 누출율 : ≤ 1 x 10-9 scc / sec He
• 외부 누출율 : ≤ 2 x 10-10 scc / sec He
• 75 psig 공칭 AOP 작동 압력
• Cv 0.25 (HP, NC, NO, I), Cv 0.18 (M), Cv 0.17 퍼지 밸브

응용 분야 :
• 부식 및 특수 가스
• 반도체 툴
• 공구 훅업
• 가스 캐비넷
• 밸브 매니폴드 박스 (VMB)

Vespel®은 DuPont Performance Elastomers L.L.C의 등록 상표임.
VeriClean ™은 Parker Hannifin Corporation의 상표임.
PEEK ™는 Victrex plc의 상표임.

초 고순도 (UHP) 고압 다이어프램 Y- 밸브 - 945Y 시리즈