Parker의 SM930 시리즈 표면 실장(surface mount) 스테인리스스틸 몸체 격막 밸브(1-1/8 및 1-1/2 inch 몸체 사이즈)는, 우수한 누출 무결성, 긴 주기 수명, 및 적은 먼지 생성을 지원하여, UHP 반도체 분야에 이상적으로 사용됩니다.

SM930 시리즈는 공정 유체와의 접촉 시 나사나 스프링이 필요하지 않도록 설계되어있어, 먼지 생성과 포착이 최소화 됨에 따라, 반도체 분야에 필수적인 공정오염을 줄여줍니다. 이 밸브는 시트와 격막의 스트레스를 제어하도록 엄격하게 설계되어, 신뢰성 있고 유지보수가 필요 없는 수명을 보장해줍니다. SM930 시리즈 습식 부속품은 특수 재질로 제작되어, 뛰어난 내부식성과 누출 무결성을 제공합니다. 몸체는 내부를 전자연마 한(electropolished) Vericlean? 316L 스테인리스스틸로 제작됩니다. Vericlean™ 은 Parker에 지적재산권이 있는 UHP 등급의 스테인리스스틸입니다. 격막은 고강도의 코발트 기반 합금으로 제작됩니다. SM930 시리즈는 PCTFE, PEEK® 및 Vespel® 시트 재질로도 제공되어, 폭넓은 공정 유체와 호환성을 가지고 있습니다. 이들 재질이 SM930 시리즈의 엄격한 설계와 결합되어, SM930 시리즈가 최대 250 psig 의 입구 압력 조건에서 매우 뛰어난 내부식성과 최장의 수명을 가지게 됩니다.

SM930 시리즈 공기-작동 밸브는, 리미트 스위치나 근접 스위치와 함께, 개폐위치 표시를 하도록 구성될 수 있습니다. 이 제품은, 930Y(Y-밸브) 및 930(표면 씰 및 튜브 스터드 포트)를 포함하여, 여러 몸체 구성으로 제공될 수 있습니다.

모든 SM930 시리즈 밸브에 있는, 내부 (시트) 씰과 외부 금속 씰은 질량분석계를 사용하여 헬륨 누출 검사를 거치기 때문에, UHP 조건이 요구되는 환경에서 성능과 신뢰성을 보장할 수 있습니다.

시장:
• 반도체
• 분석실
• 의약품
• 바이오의약품
• 우주항공
• 공업

특징 및 장점:
• C 및 W 씰 표면 실장(surface mount) 1-1/8 inch 및 1-1/2 inch 몸체 사이즈로 제공됩니다.
• 5 microinch (Ra) 전자연마 표면 마감
• 긴 주기 수명(부식성 서비스 포함)
• 내부에 스프링과 나사가 없도록 설계되어있어, 입자 생성과 가스 포착을 최소화 해줍니다.
• 진공에서 250 psig까지, 완전히 기능합니다.
• 내부 누출율: ≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 외부 누출율: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 공칭 AOP 작동 압력: 75 psig

적용:
• 부식성 및 특수 가스
• 반도체 도구
• 도구 연결
• 가스 캐비닛
• 밸브 매니폴드 박스(Valve manifold box: VMB)

VeriClean™ 은 Parker Hannifin Corporation의 상표입니다.
Vespel® 은 DuPont Performance Elastomers L.L.C.의 등록상표입니다.
PEEK™ 는 Victrex plc의 상표입니다.

UHP 표면 실장 다이어프램 밸브 - 수동 또는 공기 작동식 (진공에서 250 psig) - SM930 시리즈