La vanne à membrane 945Y regroupe deux valves dans un seul corps compact, ce qui simplifie l’intégration d’un système de purge dans un manifold de gaz et améliore l’efficacité du processus de purge. La vanne se caractérise par une excellente étanchéité, un cycle de vie prolongé et une faible génération de particules du vide jusqu’à 3 500 psig, ce qui permet de l’utiliser dans la fabrication de semi-conducteurs UHP haute pression, dont les armoires à gaz, les blocs de vannes et les conduites de process en aval.

La vanne de la série 945Y est disponible avec une grande variété d’actionneurs manuels et d’actionneurs à commande pneumatique (AOP). Elle ne possède aucun ressort ni filetage interne, ce qui réduit la génération et le piégeage de particules, afin de garantir une propreté optimale et une moindre contamination des processus. La vanne est également dotée d’un élément de compression unique qui charge le joint de façon uniforme sans composants filetés ni sertissage.

Grâce à sa conception unique, la vanne PFA de la série 945Y contrôle les contraintes du siège et de la membrane afin d’offrir une durée de vie fiable et sans entretien. Les composants en contact avec les fluides de process sont fabriqués en acier inoxydable électro-poli à l’intérieur 316L VeriClean™ conçu par Veriflo. Les sièges sont disponibles en PCTFE, PEEK® ou Vespel®, ce qui permet d’utiliser la vanne avec une grande variété de fluides de process inertes et corrosifs. La membrane de la vanne est fabriquée dans un alliage de cobalt ultra-résistant. Ces matériaux, associés aux caractéristiques de conception précises de la série 945Y, lui confèrent une excellente résistance à la corrosion, fiabilité et propreté à des pressions d’entrée extrêmement élevées.

La série 945Y est proposée dans plusieurs configurations de circuit d’écoulement pour s’adapter à des applications de purge des circuits en aval, en amont et communes. Le volume des zones mortes intérieures est réduit afin d’améliorer l’efficacité de la purge. Les vannes pneumatiques peuvent être configurées de manière à fournir une indication d’ouverture et de fermeture assortie d’un interrupteur de fin de course.

Toutes les vannes 945Y sont fabriquées dans une salle blanche de la classe 100. Les joints (sièges) intérieurs et les joints extérieurs métalliques sont soumis à un essai d’étanchéité à l’hélium au moyen d’un spectromètre de masse, afin de garantir leurs performances et leur fiabilité dans les applications UHP exigeantes.

Marchés :
• Semi-conducteurs
• Laboratoires d'analyse
• Industrie pharmaceutique
• Biopharmacie
• Aérospatiale
• Industrie

Caractéristiques/Avantages :
• La configuration de la vanne en Y permet d’associer plusieurs combinaisons d’opérateurs et exige moins d’espace
• Finition de surface par électro-polissage de 10 micropouces (Ra)
• Cycle de vie élevé (y compris l’entretien anti-corrosion)
• Rigidité interne et absence de filetage réduisant la génération de particules et le piégeage du gaz
• Pleinement fonctionnel, du vide jusqu'à 3 500 psig
• Taux de fuite interne : ≤ 1 x 10-9 scc/s He
• Taux de fuite extérieur : ≤ 2 x 10-10 scc/s He
• Pression nominale de commande AOP de 75 psig
• Valve de purge Cv 0,25 (HP, NC, NO, I), Cv 0,18 (M), Cv 0,17

Applications :
• Gaz corrosifs et spécialisés
• Outils semi-conducteurs
• Crochets pour outils
• Armoires à gaz
• Blocs de vannes

Vespel® est une marque déposée de DuPont Performance Elastomers L.L.C.
VeriClean™ est une marque de Parker Hannifin Corporation
PEEK™ est une marque de Victrex plc.

Vanne en Y à membrane haute pression Ultra-haute pureté (UHP) – Série 945Y