VacuSeal™-vlakafdichtingskoppelingen met metalen pakking bieden een extreem hoge lekdichtheid, zodat deze geschikt zijn voor gebruik in kritische toepassingen waar zeer zuivere omstandigheden zijn vereist, zoals gereedschapskoppelingen in de halfgeleiderindustrie, ventielverdelerkasten en gasdistributiesystemen. De koppelingen zijn uitgevoerd met corresponderend pakking-toroïde-ontwerp, waardoor een metaal-op-metaalafdichting ontstaat met een lekvrij bedrijf van vacuüm tot 9000 psig.

De reeks VacuSeal™-koppelingen beslaat afmetingen van 1/8 tot 1 inch en is verkrijgbaar in verschillende behuizings- en pakkingsconfiguraties. Deze worden gefabriceerd in een cleanroom van klasse 100 met het laagzwavelige roestvrijstaal Vericlean™ 316L, eigendom van Veriflo. De standaard elektrogepolijste natte oppervlakte-afwerking van 5 Ra zorgt voor minder insluitzones en biedt tegelijkertijd een uitzonderlijk goede corrosiebestendigheid. De afdichtingen zijn verkrijgbaar in hoogzuiver nikkel en Hastelloy C-22® voor prestaties en betrouwbaarheid in extreem corrosieve toepassingen.

De VacuSeal™-koppelingen zijn ontworpen voor combinatie met platte en TorqTite™ zelf-uitlijnende vlakafdichtingspakkingen van Veriflo, waarvoor geen montagegereedschappen zijn vereist en die het losraken van onderdelen elimineren als gevolg van thermische cycli en trillingen. TorqTite™ zorgt tevens voor afdichting, zelfs op beschadigde toroïden en is geschikt voor toepassing van extreem hoge koppels, zonder risico op beschadiging van het afdichtingsoppervlak. Gecombineerd met de ultrazuivere constructiematerialen van de VacuSeal™-koppelingen, zorgt dit voor een minimale deeltjesopwekking en een gegarandeerde lekdichtheid bij waferproductie, waar reinheid van het hoogste belang is.

Alle VacuSeal™-koppelingen zijn met helium op dichtheid getest, om prestaties en betrouwbaarheid in veeleisende ultrazuivere (UHP)-toepassingen te garanderen.

Markten:
• Halfgeleider
• Gereedschapsfabricage
• Analytische laboratoria
• Farmaceutisch
• Biofarmaceutica
• Luchtvaart
• Industrieel

Toepassingen:
• Corrosieve en speciale gassen
• Gasdistributiesystemen voor halfgeleiderproductie
• Gereedschappen voor halfgeleiders
• Gereedschapskoppelingen
• Gasverdeelkasten
• Ventielverdelerkasten (VMB)

Eigenschappen/voordelen:
• Twee lektestpoorten voor eenvoudige lektesten
• Lekhoeveelheid: ≤1 x 10-9 STD scc/sec helium
• 5 Ra interne elektrogepolijste oppervlakte-afwerking
• De moeren met binnendraad zijn verzilverd met een geavanceerd coatingproces, voor agressieve chemische processen die worden gebruikt bij reinigen, elektropolijsten en passiveren
• De niet-roterende moer met binnendraad voorkomt de koppeldoorgifte tijdens vastdraaien en zorgt daardoor voor een minimum aan verdraaien van componenten, waardoor een belastingsconcentratie zou kunnen ontstaan
• De niet-vretende moer met binnendraad zorgt voor consistent vastdraaien zonder coating of smering.
• De gepatenteerde TorqTite™-pakking maakt in eerste instantie contact met de binnenste tapse vorm en forceert eventueel ingesloten verontreinigingen in radiale richting naar buiten
• Dankzij de warmtecode op de pakking kan het ruwe materiaal worden gevolgd
• Er is geen axiale speling vereist voor het verwijderen van componenten uit het systeem
• Dankzij de gladde overgang naar de interne diameter is de insluitingszone minimaal

Hastelloy C-22® is een gedeponeerd handelsmerk van Haynes International, Inc.

Vlakafdichtingskoppeling met metalen pakking voor ultrahoge druk (afmetingen tot 1 inch) – VacuSeal™