SQ2Micro (0.06 Cv) และ SQ2Micro130E (0.15 Cv) เป็นตัวควบคุมแรงดัน UHP ขนาดเล็กที่ทันสมัยที่สุดในตลาด ซีรีส์นี้ให้การควบคุมแรงดันที่แม่นยำและเชื่อถือได้อย่างยิ่ง ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของ MFC (Mass Flow Controller) ซึ่งมีความสำคัญต่อการทำซ้ำและผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซีรีส์นี้ยังมีความสมบูรณ์ของการรั่วไหลที่เหนือกว่าและการสร้างอนุภาคต่ำเพื่อลดการปนเปื้อนของกระบวนการซึ่งจำเป็นต่อการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์

ตัวควบคุมแรงดันเหมาะสำหรับใช้กับก๊าซเฉื่อยและก๊าซกัดกร่อน และให้การตอบสนองที่ยอดเยี่ยมต่อการเปลี่ยนแปลงความต้องการการไหลแบบขั้นตอน ซีรีส์นี้ใช้การออกแบบไดอะแฟรมที่ผูกติดตัวเองเป็นศูนย์กลางที่ไม่เหมือนใครซึ่งให้การปิดผนึกที่นั่งและการควบคุมแรงดันที่เชื่อถือได้ การสร้างและการกักเก็บอนุภาคลดลงโดยการกำจัดสปริงป๊อปเปตและเกลียวการยึดที่นั่งซึ่งช่วยปรับปรุงความสะอาดของกระบวนการและประสิทธิภาพการล้าง

ส่วนประกอบที่เปียกของ SQ2Micro Series ผลิตจากโลหะพิเศษเพื่อให้ทนทานต่อการกัดกร่อนเป็นพิเศษ ความสมบูรณ์ของการรั่วไหล และอายุการใช้งานสูงสุดที่แรงดันขาเข้าสูงถึง 250 psig ตัวเครื่องขัดเงาด้านในด้วยไฟฟ้าและผลิตจากสแตนเลส 316L VeriClean™ ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ Parker Veriflo ซึ่งเกินข้อกำหนดด้านวัสดุของ Semi F20 ไดอะแฟรมและป๊อปเปตแต่ละชิ้นผลิตจาก Hastelloy C-22® และที่นั่งแต่ละชิ้นมีทั้ง PCTFE หรือ Vespel®

ทั้ง SQ2Micro และ SQ2Micro130E มีขนาดเล็กสำหรับการเว้นระยะเดียวกันกับวาล์ว Veriflo มีตัวถังแบบ A พร้อมพอร์ตแรงดันต่ำแบบซีลภายในสำหรับการติดตั้งเกจวัดแรงดันและทรานสดิวเซอร์ สำหรับการติดตั้งแบบติดตั้งบนพื้นผิว โปรดดูที่ SMSQ2Micro Series

ตัวควบคุม SQ2Micro และ SQ2Micro130E ทั้งหมดได้รับการทำความสะอาดตามข้อกำหนดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์อย่างเข้มงวดและประกอบในสภาพแวดล้อมคลีนรูมระดับ 100 ก่อนจัดส่ง ซีล (ที่นั่ง) ภายในและซีลโลหะภายนอกจะได้รับการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม 100% โดยใช้สเปกโตรมิเตอร์มวลเพื่อให้มั่นใจในประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือในการใช้งาน UHP ที่ต้องการ

ตลาด:

•    เซมิคอนดักเตอร์

•    ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์

•    ยา

•    ไบโอฟาร์ม

•    การบินและอวกาศ

•    อุตสาหกรรม

การใช้งาน:

•    ก๊าซกัดกร่อนและก๊าซพิเศษ

•    เครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์

•    การเชื่อมต่อเครื่องมือ

•    ตู้ก๊าซ

•    กล่องรวมวาล์ว (VMB)

คุณสมบัติและประโยชน์:

•    จำนวนอนุภาคต่ำมาก

•    ไดอะแฟรมที่ผูกไว้ช่วยขจัดสปริงในพื้นที่เปียกและเพิ่มความปลอดภัย

•    0.06 Cv สำหรับ SMSQ2Micro, 0.15 Cv สำหรับ SMSQ2Micro130E

•    แรงดันขาออกอยู่ในช่วง -10 psig ถึง 60 psig

•    อัตราการรั่วไหลภายใน: ≤ 5 x 10-8 scc/sec He

•    อัตราการรั่วไหลภายนอก: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He

•    พื้นผิวขัดเงา 5 ไมโครนิ้ว (Ra)

•    ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน -40°F ถึง +150° F (-40°C ถึง +66°C)

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

Hastelloy C-22 -TM Haynes International, Inc.

*เนื้อหาของหน้านี้แปลโดย AI คุณสามารถเลือกฟังก์ชั่นแชทแบบเรียลไทม์เพื่อรับข้อมูลเพิ่มเติม

ตัวควบคุมแรงดัน SQ2Micro Series