Parker 930 系列不銹鋼膜片閥提供優異的密封完整性、高循環壽命和低顆粒生成，使其成為 UHP 半導體應用的理想選擇。

930 系列的無螺紋和無彈簧設計最大限度地減少顆粒生成和滯留區域，以減少過程污染。閥門的精確設計控制座椅和膜片的應力，提供可靠且免維護的使用壽命，超過數百萬次循環。所有濕潤部件均由特殊金屬製成，提供卓越的耐腐蝕性和密封完整性。內部電拋光的 VeriClean™ 316L 不銹鋼閥體和高強度鈷基合金膜片使其超越行業標準 Semi F20 規範。多種可用的座椅材料：PCTFE、PEEK® 和 Vespel® 使 930 系列能夠在不同溫度和廣泛的工藝流體下運行。這些材料與精確的設計特徵相結合，使 930 系列在入口壓力高達 300 psig 的情況下具有極高的耐腐蝕性和最大循環壽命。

所有 930 系列閥門均按照嚴格的半導體行業要求進行清潔，並在 100 級潔淨室環境中組裝。出貨前，所有閥門密封件（座椅和膜片）均使用質譜儀進行 100% 氦氣漏測，以確保在苛刻的 UHP 應用中性能和可靠性。

市場:

• 半導體

• 分析實驗室

• 製藥

• 生物製藥

• 航空航天

• 工業

應用:

• 腐蝕性和特殊氣體

• 半導體工具

• 工具連接

• 氣體櫃

• 閥門歧管箱 (VMB)

特點/優勢:

• 在濕潤表面上具有 5 微英寸 (Ra) 的電拋光表面

• 高循環壽命（包括腐蝕性服務）

• 內部無彈簧和無螺紋設計，最大限度減少顆粒生成和氣體滯留

• 提供多種氣動和手動配置

• 從真空到 300 psig 完全功能

• 內部漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He

• 外部漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He

• 75 psig 名義 AOP 啟動壓力

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

Peek – TM Victrex plc.

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超高純度 (UHP) 低流量、低壓隔膜閥 – 930 系列