PV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物气动隔膜阀，用于半导体和洁净区域应用中控制研磨性泥浆介质和腐蚀性流体。阀门的流路设计可大限度降低产生的压降，允许较低的上游压力需求，改进流体动力学。阀门有2通和3通型，三种通径尺寸(1/4

, 1/2

,和1

)。接口尺寸范围：1/4

- 1-1/4

,连接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。

PV-20系列泥浆阀阀体由初级形态的超高纯聚四氟乙烯制成，具有更好的耐化学性。这个，再加上改性聚四氟乙烯隔膜，使阀门具有良好的柔韧性和更高循环寿命，压力上限 100 psig。阀门本身也非常紧凑，使操作者能够保护洁净室和次洁净区。

PV-20系列的角形和圆形流路，加上一个开放和横扫碗形状围绕其隔膜，大限度地减少湍流并有效减少可以引起流体剪切尖角。减少了颗粒截留，提供更高的防腐蚀保护。

总的来说，阀门的设计使其适合处理磨蚀和腐蚀性泥浆流体，比如那些存在于受雇于半导体制造的CMP (化学机械平坦化或化学机械抛光)工艺的。PV-20系列也适用于广泛的其他洁净区处理及分析应用，比如控制酸、化学品和去离子水的流量。

市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点/优势:
• 优异的耐腐蚀性
• 均匀分布的阀座密封力更小化隔膜和阀座应变，稳定阀门背压能力
• 膜片厚度更大，大限度地减少潜在的渗透，同时大限度提高循环寿命
• 用在开环系统中腐蚀性流体时，自排水设计有助可靠性
• 符合 SEMI-F57-0301关于聚合物元件的标准
• 环境温度范围:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
• 流体温度范围:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
• 压力范围：真空到100 psig

应用:
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 泥浆和腐蚀性化学品分配系统
• 去离子水

UHP 超高纯 PTFE气动泥浆阀 (压力可高达 1 inch) – PV-20 系列