Les régulateurs Veriflo Division SQ2Micro (0,06 Cv) et SMSQ2Micro130E (0,15 Cv) de Parker sont les régulateurs de pression UHP miniatures les plus avancés du marché. Cette série assure une régulation de la pression extrêmement précise et fiable qui améliore les performances du régulateur de débit massique (MFC), un facteur crucial pour la répétabilité et le rendement de la production de semi-conducteurs. Cette série présente également une étanchéité supérieure et une faible génération de particules pour une contamination réduite des processus, ce qui est essentiel pour les applications de semi-conducteurs.

Les régulateurs sont utilisables avec des gaz inertes et corrosifs, et offrent une réponse extraordinaire aux évolutions de la demande de débit de la fonction en escalier. Cette série utilise une conception unique de membrane jointe à auto-centrage qui assure une étanchéité fiable du siège et la régulation de la pression. La génération et le piégeage des particules sont minimisés par l'élimination du ressort du clapet et des filetages de retenue du siège, ce qui améliore la propreté et les performances de purge du processus.

Les composants en contact de la série SQ2Micro sont fabriqués à partir de métaux spéciaux afin de fournir une résistance à la corrosion et une étanchéité exceptionnelles. L'intérieur du corps est électropoli en acier inoxydable 316L VeriClean™. VeriClean™ est une marque d'acier inoxydable de grade UHP appartenant à Parker. La membrane et le clapet sont en Hastelloy C-22®. Ce matériau associé à des caractéristiques de conception uniques confère à la série SQ2Micro une extrême résistance à la corrosion et un cycle de vie maximum pour des pressions d'entrée allant jusqu'à 250 psig.

Le SQ2Micro et le SQ2Micro130E ont un encombrement réduit identique à celui des vannes Veriflo Quantum. Un corps de type A est disponible avec un orifice de faible pression à garniture interne étanche pour les installations du manomètre et du capteur de pression. Pour les applications de montage en surface, voir la série SMSQ2Micro.

Le joint (siège) intérieur et les joints extérieurs métalliques sur tous les régulateurs SQ2Micro sont soumis à un essai d'étanchéité à l'hélium au moyen d'un spectromètre de masse, afin de garantir leurs performances et leur fiabilité pour les applications très exigeantes telles que le traitement en UHP.

Marchés :
• Semi-conducteurs
• Laboratoires d'analyse
• Industrie pharmaceutique
• Biopharmacie
• Aérospatiale
• Industrie

Caractéristiques et avantages :
• Quantité de particules extrêmement faible
• Membrane jointe éliminant les ressorts dans la zone soudée et augmentant la sécurité
• 0,06 Cv pour SMSQ2Micro, 0,15 Cv pour SMSQ2Micro130E
• Plage de pressions en sortie de -10 à 60 psig
• Taux de fuite interne : ≤ 5 x 10-8 scc/s He
• Taux de fuite extérieur : ≤ 2 x 10-10 scc/s He
• Finition de surface par électropolissage de 5 micropouces (Ra)
• Plage de températures de fonctionnement de -40°C à +66°C (-40°F à +150°F)

Applications :
• Gaz corrosifs et spécialisés
• Outils semi-conducteurs
• Crochets pour outils
• Armoires à gaz
• Blocs de vannes

Hastelloy C-22® est une marque déposée de Haynes International, Inc.
VeriClean™ est une marque de Parker Hannifin Corporation

Régulateur de pression à membrane jointe UHP (jusqu'à 250 psig) - Série SQ2Micro