Parker 930Y 시리즈 스테인레스 스틸 바디 다이어프램 Y-밸브는 우수한 누출 방지성, 높은 사이클 수명 및 낮은 입자 생성을 제공하여 UHP 반도체 적용 분야에 이상적입니다.

930Y 시리즈 디자인에는 반도체 유체에 필수적인 감소된 공정 오염을 위해 입자 생성 및 포착을 최소화하기 위해 프로세스 유체와 접촉하는 나사 또는 스프링이 없습니다. 밸브의 엄격한 설계로 시트 및 다이어프램 응력을 제어하여 신뢰성있고 유지 보수가 필요없는 서비스 수명을 제공합니다.  930Y 시리즈 습식 (유체와 접촉)부품들은 탁월한 내식성과 누출 방지성을 제공하기 위해 특수 금속으로 제조됩니다.  몸체는 내부적으로 전해 연마된 Vericlean ™ 316L 스테인레스 스틸입니다.  Vericlean ™은 Parker 의 독점적인 UHP급 스테인레스 스틸입니다.  다이어프램은 고강도 코발트 기반 합금입니다.  930Y 시리즈는 또한 시트 소재 PCTFE, PEEK® 및 Vespel®을 제공하여 다양한 공정 유체들과 호환 가능합니다.  930Y 시리즈의 엄격한 설계 특징과 결합된 이 재료들은 930Y 시리즈에 극한의 내식성과 최대 250 psig의 입구 압력에서의 최대 사이클 수명을 제공합니다.

930Y 시리즈는 업스트림, 다운스트림 및 공통 경로 퍼지 적용 분야를 수용할 수 있도록 여러 가지 유로 (flow path) 구성으로 제공됩니다.  퍼지 효율을 개선하기 위해 내부 사각 다리 부피가 최소화됩니다.  시리즈의 공기 작동식 밸브는 리미트 스위치 또는 근접 스위치로 개폐 위치 표시를 제공하도록 구성될 수 있습니다.  다른 몸체 구성의 경우 930 (단일 밸브 몸체) 및 SM930 (표면 장착)를 참조합니다.

모든 930Y 시리즈 밸브의 내부 (시트) 씰 및 금속 외부 씰은 질량 분광계를 사용하여 헬륨 누출 테스트를 거침으로서 까다로운 UHP 적용 분야에서 성능과 신뢰성을 보장합니다.

시장 :
• 반도체
• 분석 실험실
• 제약
• 바이오 의약
• 항공 우주
• 산업

특징 / 장점 :
• 5 microinch (Ra) 전해 연마 표면 처리
• 높은 사이클 수명 (부식 서비스 포함)
• 내부적으로 무 스프링 및 나사없는 디자인으로 입자 생성 및 가스 포착 최소화
• 진공에서 300 psig (수동) 및 125 psig (공기 작동)까지 완벽하게 기능합니다.
• 내부 누출율: ≤ 1 x 10-9 scc / sec He
• 외부 누출율: ≤ 2 x 10-10 scc / sec He
• 75 psig 공칭 AOP 작동 압력

적용 분야 :
• 부식 및 특수 가스
• 반도체 툴
• 공구 훅업
• 가스 캐비닛
• 밸브 매니 폴드 박스 (VMB)


Vespel®은 DuPont Performance Elastomers L.L.C의 등록 상표임.
VeriClean ™은 Parker  Hannifin Corporation의 상표임.