派克Veriflo部门的735W和NPR735W(亚大气压)系列阀门,是为高压气体分配系统而设计,适用于超高纯度(UHP)半导体制造操作系统。 该系列产品适用于惰性和腐蚀性气体,具有二级隔膜设计,可大幅减少供给压力的影响; 因此,无论入口压力如何波动,都能提供稳定的出口压力。
735W系列调压阀的压缩构件,在润湿区域无螺纹,从而提高泄漏完整性,并减少颗粒的产生和截留的风险。此种调压阀配有100级洁净室,由Veriflo的Vericlean™ 316L不锈钢制成,并带有PCTFE(聚三氟氯乙烯)或者 Vespel®(聚酰亚胺)阀座。这些材料,标准的全内部电抛光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升阀结合在一起,使调压阀入口压力高达3,500 psig时都能保有其卓越的耐腐蚀性和清洁度。阀座带自定位设计,可做重复有效关闭,具有稳定的密封性以及精密的压力调节。它通过集成过滤网保护其不受上游气缸带来的污染。
735W系列调压阀,当阀座出现泄漏时,阀门关闭以阻隔带有腐蚀性或有害气体泄漏,并且通过有效减少下游潜在的聚积高压而提高安全性。调压阀内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行内外部氦气泄露检测,以获得在对清洁度要求苛刻的UHP应用中,保有其性能和稳定性。
市场:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点和优势:
• 压缩构件无需螺纹穿孔将密封与本体连接在一起
• 高循环使用寿命(包括耐腐蚀性服务)
• 内部弹簧设计更小化颗粒的产生和气体截留
• 金属对金属隔膜到阀体的密封以获得高泄漏完整性
• 内部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He (额定)
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全压力范围使用:从真空到3,500 psig (NPR735W可用于亚大气压的压力控制)
• Cv 0.04
• 标准的全内部电抛光
应用:
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱(VMB)
• 上游工艺管线
Vespel® 是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司(DuPont Performance Elastomers L.L.C.)的注册商标。
Hastelloy C-22® (哈氏合金 C-22®)是海因斯国际公司(Haynes International, Inc.)的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司(Parker Hannifin Corporation)的商标