Van màng thân thép không gỉ Parker 930 Series cung cấp độ kín rò rỉ xuất sắc, tuổi thọ cao và tạo ra ít hạt, làm cho nó lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng bán dẫn UHP.

Thiết kế không ren và không lò xo của 930 Series giảm thiểu việc tạo hạt và các khu vực bẫy hạt để giảm thiểu sự ô nhiễm quá trình. Thiết kế chính xác của van kiểm soát căng thẳng của ghế và màng để cung cấp tuổi thọ dịch vụ đáng tin cậy và không cần bảo trì qua hàng triệu chu kỳ. Tất cả các thành phần tiếp xúc với chất lỏng được sản xuất từ kim loại chuyên dụng để cung cấp khả năng chống ăn mòn và độ kín rò rỉ xuất sắc. Thân thép không gỉ 316L được điện phân bên trong VeriClean™ và màng hợp kim Cobalt có độ bền cao cho phép nó vượt qua tiêu chuẩn Semi F20 của ngành. Các loại vật liệu ghế có sẵn: PCTFE, PEEK® và Vespel® cho phép 930 series hoạt động ở nhiều nhiệt độ khác nhau và với một loạt các chất lỏng quá trình. Các vật liệu này kết hợp với các tính năng thiết kế chính xác mang lại khả năng chống ăn mòn cực kỳ và tuổi thọ chu kỳ tối đa ở áp suất đầu vào lên đến 300 psig.

Tất cả các van 930 Series được làm sạch theo yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn và lắp ráp trong môi trường phòng sạch cấp 100. Trước khi vận chuyển, tất cả các con dấu van (ghế và màng) đều được kiểm tra rò rỉ Helium 100% bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi.

Thị trường:

• Bán dẫn

• Phòng thí nghiệm phân tích

• Dược phẩm

• BioPharm

• Hàng không vũ trụ

• Công nghiệp

Ứng dụng:

• Khí ăn mòn và khí đặc biệt

• Công cụ bán dẫn

• Kết nối công cụ

• Tủ khí

• Hộp Manifold van (VMB)

Tính năng/Lợi ích:

• Bề mặt hoàn thiện điện phân 5 micro inch (Ra) trên các bề mặt tiếp xúc

• Tuổi thọ chu kỳ cao (bao gồm dịch vụ ăn mòn)

• Thiết kế không lò xo và không ren bên trong giảm thiểu việc tạo hạt và bẫy khí

• Đa dạng cấu hình được cung cấp trong điều khiển bằng khí nén và thủ công

• Hoạt động đầy đủ từ chân không đến 300 psig

• Tỷ lệ rò rỉ bên trong: ≤ 1 x 10-9 scc/sec He

• Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He

• Áp suất kích hoạt AOP danh nghĩa 75 psig

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

Peek – TM Victrex plc.

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Van màng áp suất thấp, lưu lượng thấp, độ tinh khiết cực cao (UHP) – Dòng 930