Dòng sản phẩm Parker 935 Series cung cấp khả năng kín khí và giữ khí tuyệt vời, làm cho nó lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng khí số lượng lớn UHP dòng chảy cao trong ngành bán dẫn.

Với thiết kế màng buộc cung cấp khả năng rút thân dương đáng tin cậy, dòng 935 không có lò xo và không có ren bên trong; do đó, giảm diện tích bề mặt và các khu vực bẫy để cải thiện khả năng tẩy rửa và tạo ra hạt.

Các thành phần tiếp xúc của dòng 935 được chế tạo từ các vật liệu đặc biệt để cung cấp khả năng chống ăn mòn và kín khí xuất sắc: thân được điện phân bên trong được chế tạo từ thép không gỉ 316L cấp UHP độc quyền của Parker, Vericlean™ để tối đa hóa khả năng chống ăn mòn, màng buộc hình vòm bằng thép không gỉ 316L tạo ra một con dấu kim loại với thân VeriClean™ độc quyền và cho phép hành trình tối đa bằng cách duy trì áp lực thấp trong suốt phạm vi chuyển động của nó, và ghế PCTFE hoặc Vespel® cung cấp khả năng tương thích hóa học tuyệt vời cùng với hiệu suất đóng kín mạnh mẽ.

Tất cả các van dòng 935 đều được làm sạch theo các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành bán dẫn và được lắp ráp trong môi trường phòng sạch lớp 100. Trước khi vận chuyển, tất cả các con dấu van (ghế và màng) đều được kiểm tra rò rỉ Helium 100% bằng cách sử dụng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi cao.

Thị trường:

• Xử lý chất lỏng & khí

• Kiểm soát quá trình

• Bán dẫn

• Phòng thí nghiệm phân tích

• Dược phẩm

• BioPharm

• Hàng không vũ trụ

• Công nghiệp

Ứng dụng:

• Khí ăn mòn và khí đặc biệt

• Hệ thống phân phối khí

• Hệ thống khí đặc biệt số lượng lớn (BSGS)

Đặc điểm và Lợi ích:

• Bề mặt hoàn thiện tiêu chuẩn 10 micro inch Ra

• Hoạt động hoàn toàn từ chân không đến 300 psig

• Chỉ báo vị trí mở/đóng van

• Tỷ lệ rò rỉ bên trong: ≤4 x 10-9 scc/giây He

• Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤2 x 10-10 scc/giây He

• Khả năng lưu lượng (Cv): 2.8

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Van màng buộc thép không gỉ UHP (lên đến 300 psig) – Dòng 935