SQ2Micro (0.06 Cv) và SQ2Micro130E (0.15 Cv) là những bộ điều áp UHP mini tiên tiến nhất trên thị trường. Dòng sản phẩm này cung cấp khả năng điều khiển áp suất cực kỳ chính xác và đáng tin cậy, nâng cao hiệu suất MFC (Mass Flow Controller) quan trọng đối với tính lặp lại và năng suất trong sản xuất bán dẫn. Dòng sản phẩm này cũng thể hiện khả năng kín rò rỉ vượt trội và giảm thiểu sự phát sinh hạt để giảm thiểu ô nhiễm quy trình cần thiết cho các ứng dụng bán dẫn.

Các bộ điều áp này phù hợp để sử dụng với cả khí trơ và khí ăn mòn, và cung cấp phản hồi tuyệt vời đối với các thay đổi nhu cầu dòng chảy bậc. Dòng sản phẩm này sử dụng thiết kế màng tự căn chỉnh độc đáo, cung cấp khả năng làm kín ghế và điều chỉnh áp suất đáng tin cậy. Sự phát sinh và bẫy hạt được giảm thiểu bằng cách loại bỏ lò xo poppet và ren giữ ghế, giúp cải thiện sạch sẽ quy trình và hiệu suất xả.

Các thành phần tiếp xúc của dòng SQ2Micro được chế tạo từ kim loại chuyên dụng để cung cấp khả năng chống ăn mòn vượt trội, kín rò rỉ và tuổi thọ chu kỳ tối đa ở áp suất đầu vào lên đến 250 psig. Thân máy được đánh bóng điện bên trong và sản xuất từ thép không gỉ VeriClean™ 316L độc quyền của Parker Veriflo, vượt qua yêu cầu vật liệu Semi F20, mỗi màng và poppet được sản xuất từ Hastelloy C-22®, và mỗi ghế có sẵn bằng PCTFE hoặc Vespel®.

Cả SQ2Micro và SQ2Micro130E đều có kích thước nhỏ gọn cho khoảng cách tương tự như các van Veriflo. Một thân máy kiểu A có sẵn với cổng áp suất thấp mặt trong để lắp đặt đồng hồ đo áp suất và cảm biến. Đối với các ứng dụng gắn bề mặt, tham khảo dòng SMSQ2Micro.

Tất cả các bộ điều áp SQ2Micro và SQ2Micro130E đều được làm sạch theo yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn và lắp ráp trong môi trường phòng sạch cấp 100. Trước khi vận chuyển, con dấu bên trong (ghế) và con dấu kim loại bên ngoài được kiểm tra rò rỉ Helium 100% bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi khắt khe.

Thị trường:

•    Bán dẫn

•    Phòng thí nghiệm phân tích

•    Dược phẩm

•    BioPharm

•    Hàng không vũ trụ

•    Công nghiệp

Ứng dụng:

•    Khí ăn mòn và khí đặc biệt

•    Dụng cụ bán dẫn

•    Kết nối dụng cụ

•    Tủ khí

•    Hộp van manifold (VMB)

Tính năng và Lợi ích:

•    Số lượng hạt cực kỳ thấp

•    Màng buộc loại bỏ lò xo trong khu vực ướt và tăng cường an toàn

•    0.06 Cv cho SMSQ2Micro, 0.15 Cv cho SMSQ2Micro130E

•    Áp suất đầu ra từ -10 psig đến 60 psig

•    Tốc độ rò rỉ bên trong: ≤ 5 x 10-8 scc/giây He

•    Tốc độ rò rỉ bên ngoài: ≤ 2 x 10-10 scc/giây He

•    Bề mặt đánh bóng điện 5 micro inch (Ra)

•    Nhiệt độ hoạt động từ -40°F đến +150°F (-40°C đến +66°C)

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

Hastelloy C-22 -TM Haynes International, Inc.

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Bộ điều chỉnh áp suất màng buộc tinh khiết cao (UHP) – Dòng SQ2Micro