Dòng sản phẩm SMSQ2Micro và SMSQ2Micro130E là những bộ điều áp UHP nhỏ gọn tiên tiến nhất trên thị trường. Dòng sản phẩm này cung cấp điều khiển áp suất cực kỳ chính xác và đáng tin cậy, nâng cao hiệu suất của MFC (Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng) quan trọng đối với tính lặp lại và năng suất sản xuất bán dẫn. Dòng sản phẩm này cũng cung cấp tính toàn vẹn rò rỉ vượt trội và giảm thiểu sự phát sinh hạt, cả hai đều cần thiết cho các ứng dụng bán dẫn.

Các bộ điều áp thích hợp để sử dụng với cả khí trơ và khí ăn mòn, và cung cấp phản ứng phi thường đối với các thay đổi nhu cầu lưu lượng chức năng bước. Dòng sản phẩm sử dụng thiết kế màng buộc tự căn chỉnh độc đáo cung cấp độ kín ghế và điều chỉnh áp suất đáng tin cậy. Sự phát sinh và bẫy hạt được giảm thiểu bằng cách loại bỏ lò xo poppet và các ren giữ ghế, điều này cải thiện thêm độ sạch của quy trình và hiệu suất tẩy rửa.

Các thành phần ướt của Dòng SMSQ2Micro được chế tạo từ kim loại đặc biệt để cung cấp khả năng chống ăn mòn vượt trội, tính toàn vẹn rò rỉ và tuổi thọ chu kỳ tối đa ở áp suất đầu vào lên đến 250 psig. Thân được đánh bóng điện bên trong và được chế tạo từ thép không gỉ Vericlean™ 316L độc quyền của Parker Veriflo, vượt qua các yêu cầu về vật liệu Semi F20, mỗi màng và poppet được chế tạo từ Hastelloy C-22®, và mỗi ghế có sẵn bằng PCTFE hoặc Vespel®.

Cả SMSQ2Micro và SMSQ2Micro130E đều có kích thước nhỏ gọn theo các Thông số Kỹ thuật Giao diện Modular SEMI và có sẵn trong cả cấu hình c-seal và w-seal.

Tất cả các bộ điều áp SMSQ2Micro và SMSQ2Micro130E đều được làm sạch theo các yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn và được lắp ráp trong môi trường phòng sạch cấp 100. Trước khi vận chuyển, các con dấu bên trong (ghế) và các con dấu kim loại bên ngoài đều được kiểm tra rò rỉ Helium 100% bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi khắt khe.

Thị trường:

• Bán dẫn

• Phòng thí nghiệm phân tích

• Dược phẩm

• BioPharm

• Hàng không vũ trụ

• Công nghiệp

Ứng dụng:

• Khí ăn mòn và khí đặc biệt

• Công cụ bán dẫn

• Kết nối công cụ

• Tủ khí

• Hộp van đa dạng (VMB)

Đặc điểm và Lợi ích:

• Có sẵn trong các kích thước thân 1-1/8 inch và 1-1/2 inch với mặt lắp C và W

• Số lượng hạt cực kỳ thấp

• Màng buộc loại bỏ lò xo trong khu vực ướt và tăng cường an toàn

• Khả năng lưu lượng (Cv): 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)

• Phạm vi áp suất đầu ra: -10 psig đến 60 psig

• Tỷ lệ rò rỉ bên trong: ≤ 5 x 10-8 scc/sec He

• Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He

• Bề mặt đánh bóng điện 5 microinch (Ra)

• Phạm vi nhiệt độ hoạt động: -40°F đến +150° F (-40°C đến +66°C)

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Bộ điều áp gắn bề mặt tinh khiết cao (UHP) – Dòng SMSQ2Micro