Van màng thân thép không gỉ Parker SM930 Series cung cấp độ kín rò rỉ tuyệt vời, tuổi thọ cao và tạo ra ít hạt, làm cho nó lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng bán dẫn UHP.

Thiết kế không ren và không lò xo của SM930 Series giảm thiểu việc tạo ra hạt và các khu vực bẫy để giảm ô nhiễm quy trình. Thiết kế chính xác của van kiểm soát căng thẳng ghế và màng để cung cấp tuổi thọ dịch vụ đáng tin cậy và không cần bảo trì qua hàng triệu chu kỳ. Tất cả các thành phần tiếp xúc đều được sản xuất từ kim loại đặc biệt để cung cấp khả năng chống ăn mòn và độ kín rò rỉ xuất sắc. Thân thép không gỉ 316L VeriClean™ được đánh bóng điện nội bộ và màng hợp kim Cobalt cường độ cao cho phép nó vượt qua tiêu chuẩn công nghiệp Semi F20. Các vật liệu ghế có sẵn: PCTFE, PEEK® và Vespel® cho phép SM930 series hoạt động ở nhiều nhiệt độ khác nhau và với nhiều loại chất lỏng quy trình. Các vật liệu này kết hợp với các tính năng thiết kế chính xác mang lại cho SM930 Series khả năng chống ăn mòn cực kỳ và tuổi thọ chu kỳ tối đa ở áp suất đầu vào lên đến 250 psig.

Tất cả các van SM930 Series được làm sạch theo các yêu cầu chính xác của ngành công nghiệp bán dẫn và được lắp ráp trong môi trường phòng sạch lớp 100. Trước khi vận chuyển, tất cả các con dấu van (ghế và màng) đều được kiểm tra rò rỉ Helium 100% bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi.

Thị trường:

• Bán dẫn

• Phòng thí nghiệm phân tích

• Dược phẩm

• BioPharm

• Hàng không vũ trụ

• Công nghiệp

Ứng dụng:

• Khí ăn mòn và đặc biệt

• Dụng cụ bán dẫn

• Kết nối công cụ

• Tủ khí

• Hộp van Manifold (VMB)

Tính năng/Lợi ích:

• Bề mặt đánh bóng điện 5 micro inch (Ra)

• Tuổi thọ cao (bao gồm cả dịch vụ ăn mòn)

• Thiết kế không lò xo và không ren nội bộ giảm thiểu việc tạo ra hạt và bẫy khí

• Hoạt động đầy đủ từ chân không đến 250 psig

• Tỷ lệ rò rỉ nội bộ: ≤ 1 x 10-9 scc/giây He

• Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤ 2 x 10-10 scc/giây He

• Áp suất kích hoạt AOP danh nghĩa 75 psig

VeriClean − TM Parker Hannifin, Verilfo Division

Vespel − TM Dupont

Peek – TM Victrex plc.

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Van màng gắn bề mặt độ tinh khiết siêu cao (UHP) - Dòng SM930