Dòng van màng Parker 17R Series bằng thép không gỉ cung cấp tuổi thọ cao và đảm bảo đóng chặt cho các hệ thống phân phối số lượng lớn và khí đặc biệt có lưu lượng cao. Nó có thể được vận hành bằng tay hoặc bằng khí và được thiết kế để sử dụng trong các ứng dụng sản xuất bán dẫn siêu tinh khiết nơi độ tin cậy và độ sạch là quan trọng.

Van dòng 17R được chế tạo từ các vật liệu đặc biệt để cung cấp khả năng chống ăn mòn và độ kín rò rỉ xuất sắc. Thân và trục dưới được sản xuất từ thép không gỉ 316L chứa lưu huỳnh thấp, độc quyền của Veriflo, VeriClean™ và được điện phân bên trong. Màng ngăn là hợp kim dựa trên cobalt có độ bền cao. Các vật liệu ghế van có sẵn trong PCTFE (tiêu chuẩn) hoặc Polyimide, cho phép dòng 17R được sử dụng với nhiều loại chất lỏng ăn mòn và trơ. Ngoài các tính năng thiết kế chính xác của van, kiểm soát căng thẳng ghế và màng ngăn để cung cấp tuổi thọ bảo dưỡng miễn phí, các vật liệu của dòng 17R cung cấp cho nó khả năng chống ăn mòn cực cao và độ tin cậy xuất sắc ở áp suất làm việc lên đến 3,000 psig.

Tất cả các van dòng 17R đều được chế tạo trong phòng sạch Class 100. Con dấu bên trong (ghế van) và con dấu kim loại bên ngoài được kiểm tra rò rỉ Helium bằng cách sử dụng máy quang phổ khối. Chúng cũng được kiểm tra rò rỉ sản xuất bằng cách sử dụng đầu dò ngửi ngoài ở áp suất 2,000 – 2,500 psig để đảm bảo hiệu suất trong các ứng dụng sản xuất bán dẫn UHP đòi hỏi khắt khe.

Thị trường:

• Bán dẫn

• Phòng thí nghiệm phân tích

• Dược phẩm

• BioPharm

• Hàng không vũ trụ

• Công nghiệp

Ứng dụng:

• Hệ thống khí đặc biệt số lượng lớn (BSGS)

• Hệ thống phân phối số lượng lớn

• Kết nối công cụ

• Tủ khí

• Hộp van Manifold (VMB)

Tính năng/Lợi ích:

• Cung cấp lưu lượng cao và đóng chặt cho các hệ thống chất lỏng UHP

• Bề mặt hoàn thiện điện phân 10 microinch (Ra)

• Tuổi thọ cao (bao gồm dịch vụ ăn mòn)

• Hoạt động hoàn toàn từ chân không đến 3,000 psig

• Tỷ lệ rò rỉ bên trong: < 4 x 10-9 scc/sec He

• Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: < 1 x 10-9 scc/sec He

• Kiểm tra rò rỉ sản xuất bằng cách sử dụng đầu dò ngửi ngoài ở áp suất 2,000 – 2,500 psig

• Có thể vận hành bằng tay (0.80 Cv) hoặc bằng khí (0.75 Cv)

VeriClean™ là nhãn hiệu của Parker Hannifin Corporation

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Van màng áp suất cao, lưu lượng cao, độ tinh khiết cực cao (UHP) – Dòng 17R