Van màng thép không gỉ Parker 945 Series cung cấp tính toàn vẹn chống rò rỉ xuất sắc, tuổi thọ chu kỳ cao và ít tạo ra hạt từ chân không lên đến 3,500 psig. Nó lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng bán dẫn UHP, bao gồm các đường quy trình áp suất cao, tủ khí và hộp van manifold (VMB).

Van 945 Series có thể được vận hành bằng tay hoặc bằng khí nén. Cả hai phiên bản đều không có lò xo và không có ren bên trong, giúp giảm thiểu việc tạo ra hạt và bẫy khí để giảm thiểu sự ô nhiễm quy trình. Thiết kế chính xác của van kiểm soát ứng suất của ghế và màng ngăn để cung cấp tuổi thọ dịch vụ đáng tin cậy và không cần bảo trì. Van cũng có một thành phần nén độc đáo tải kín đều mà không cần các thành phần có ren hoặc các hoạt động kẹp.

Các thành phần tiếp xúc của van 945 Series được chế tạo từ kim loại đặc biệt để cung cấp khả năng chống ăn mòn và tính toàn vẹn chống rò rỉ xuất sắc. Thân van được làm từ thép không gỉ VeriClean™ 316L được đánh bóng điện nội bộ độc quyền của Veriflo. Màng ngăn là hợp kim cobalt có độ bền cao. Các vật liệu ghế có sẵn trong PCTFE, PEEK® hoặc Vespel®, cho phép van 945 Series được sử dụng với nhiều loại chất lỏng quy trình nguy hiểm và trơ. Những vật liệu này, kết hợp với các đặc điểm thiết kế chính xác của van, mang lại khả năng chống ăn mòn cực độ và độ tin cậy xuất sắc ở áp suất làm việc lên đến 3,500 psig. Các phiên bản vận hành bằng khí nén có thể được cấu hình để cung cấp chỉ báo vị trí mở-đóng với công tắc giới hạn.

Tất cả các van 945 Series được chế tạo trong phòng sạch Class 100. Kín bên trong (ghế) và kín bên ngoài bằng kim loại được kiểm tra rò rỉ Helium bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi.

Thị trường:

•   Bán dẫn

•   Phòng thí nghiệm phân tích

•   Dược phẩm

•   BioPharm

•   Hàng không vũ trụ

•   Công nghiệp

Ứng dụng:

•   Khí ăn mòn và khí đặc biệt

•   Công cụ bán dẫn

•   Kết nối công cụ

•   Tủ khí

•   Hộp van Manifold (VMB)

Đặc điểm/Những lợi ích:

•   Gia công trên các đầu ống, cho phép kiểm soát kích thước cải thiện

•   Bề mặt hoàn thiện đánh bóng điện 5 micro inch (Ra)

•   Tuổi thọ chu kỳ cao (bao gồm cả dịch vụ ăn mòn)

•   Thiết kế không có lò xo và không có ren bên trong giảm thiểu việc tạo ra hạt và bẫy khí

•   Hoạt động hoàn toàn từ chân không đến 300 psig

•   Tỷ lệ rò rỉ bên trong: ≤ 1 x 10-9 scc/sec He

•   Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He

•   Áp suất kích hoạt AOP danh nghĩa 75 psig (tối đa)

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

PEEK − TM Victrex plc.

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Van màng áp suất cao tinh khiết siêu cao (UHP) – Dòng 945