Parker 970 cung cấp lưu lượng cao và độ kín vượt trội, làm cho nó lý tưởng để sử dụng trong các ứng dụng công cụ bán dẫn siêu tinh khiết, bao gồm hộp khí, tủ khí, và hộp van manifold (VMBs).

Thiết kế của Series 970 không có ren hoặc lò xo bên trong tiếp xúc với chất lỏng, giúp giảm thiểu việc tạo ra và giữ lại các hạt để giảm ô nhiễm quá trình. Thiết kế chính xác của van kiểm soát căng thẳng ghế và màng chắn để cung cấp tuổi thọ dịch vụ đáng tin cậy và không cần bảo trì trong các ứng dụng khắc nghiệt. Các thành phần tiếp xúc với chất lỏng của Series 970 được chế tạo từ các vật liệu đặc biệt để cung cấp khả năng chống ăn mòn và độ kín vượt trội. Thân van được điện phân nội bộ và được sản xuất từ thép không gỉ 316L cấp UHP độc quyền của Parker, Vericlean™. Màng chắn là hợp kim Cobalt có độ bền cao để tối đa hóa tuổi thọ sản phẩm và ghế PCTFE, PEEK®, hoặc Vespel® cung cấp khả năng tương thích hóa học tuyệt vời cùng với hiệu suất đóng kín mạnh mẽ.

Van màng Series 970 cung cấp lưu lượng cao, .70 Cv, trong một gói nhỏ gọn, làm cho nó phù hợp để sử dụng trong các tình huống không gian làm việc hạn chế, như hộp khí, tủ khí, và hộp van manifold (VMBs). Nó có thể được vận hành bằng tay hoặc bằng khí nén với áp suất vận hành tối đa lần lượt là 250 và 150 psig.

Tất cả các van Series 970 đều được làm sạch theo các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn và được lắp ráp trong môi trường phòng sạch cấp 100. Trước khi vận chuyển, tất cả các con dấu van (ghế và màng chắn) đều được kiểm tra rò rỉ Helium 100% bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP khắt khe.

Thị trường:

• Bán dẫn

• Phòng thí nghiệm phân tích

• Dược phẩm

• BioPharm

• Hàng không vũ trụ

• Công nghiệp

Ứng dụng:

• Khí ăn mòn và đặc biệt

• Công cụ bán dẫn

• Kết nối công cụ

• Tủ khí

• Hộp van manifold (VMB)

Đặc điểm/Nổi bật:

• Bề mặt hoàn thiện điện phân 5 micro inch (Ra)

• Tuổi thọ chu kỳ cao (bao gồm dịch vụ ăn mòn)

• Thiết kế không có lò xo và ren bên trong giúp giảm thiểu việc tạo ra và giữ lại các hạt

• Hoạt động hoàn toàn từ chân không đến 250 psig

• Tỷ lệ rò rỉ bên trong: ≤ 1 x 10-9 scc/giây He

• Tỷ lệ rò rỉ bên ngoài: ≤ 2 x 10-10 scc/giây He

• Dung lượng lưu lượng: .7

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

PEEK – TM Victrex plc.

*Nội dung trang này được dịch bởi AI, bạn có thể chọn chức năng trò chuyện thời gian thực để biết thêm thông tin.

Van màng lưu lượng cao siêu tinh khiết (UHP) – Dòng 970