パーカーVerifloのSEMI F20材質グレードUHPメタル面シール継手、グランド、キャップ及びナットは、費用対効果の高いソリューションを提供し、パーカーの品質、信頼性及び性能を保証します。
パーカーメタル面シール継手は、超高純度条件が必要な重要なアプリケーションのために設計されています。嵌合ガスケットとトロイド設計は、高整合金属間シールを備え、真空から正圧まで、信頼できるサービスを提供します。標準仕上げメタル面継手は、内面粗度が平均10 µin.(0.25µm) Raです。PE仕上げ継手は内面粗度が平均5 µin.(0.13µm) Raで、UHP湿潤面条件になっています。
パーカーは、内側テーパーにまず接触し、取り込まれた汚染物質を放射状に押し出す、特許取得済TorqTite™ガスケットを使用しています。内径への滑らかな遷移は、トラップエリアを最小限に抑えます。
UHPメタル面シール継手ラインは、製造用途で競争力のある価格で競争し、パーカーの現在のVacuSealとMini突合せ溶接ラインを補完します。その堅牢な設計は、半導体ツールの重要なアプリケーションに最適です。

市場：
• 半導体製造

特長/利点：
• コンパクトな設計はシステムの小型化と密結合スペースを可能にします。
• 各溶接コンポーネントにマーキングされた永久ヒートコードによる材料のトレーシング
• 恒久的な製品名称は、必要に応じて、メーカー、材料及び内側仕上げを識別します。
• 強化されたメスナットのシルバーメッキは、一貫した簡単な組み立てを促進します。
• 制御された湿潤面は、ガス放出を防止し、腐食を抑制することによって、厳格な超高純度システム要件を満たします。
• 特許取得済Torqtite™ガスケットは、損傷したトロイドのシールを促進し、振動または熱サイクルに原因する組立の緩みを実質的に排除します。

アプリケーション：
• ツール接続
• バルブマニホールドボックス
• ガスキャビネット