La vanne à membrane et corps en acier inoxydable à montage en surface de la série Parker SM930 (tailles du corps 1-1/8 po et 1-1/2 po) offre une excellente étanchéité, un long cycle de vie et une faible génération de particules ce qui la rend idéale pour les applications de semi-conducteurs UHP.

La série SM930 n'a aucun fil ou ressort en contact avec le fluide de traitement ce qui réduit au minimum la génération et le piégeage de particules pour une contamination réduite du traitement, essentielle pour les applications de semi-conducteurs. Grâce à la précision de sa conception, la vanne contrôle les contraintes du siège et de la membrane afin d'offrir une durée de vie fiable et sans entretien. Les composants en contact de la série SM930 sont fabriqués à partir de métaux spéciaux afin de fournir une résistance à la corrosion et une étanchéité exceptionnelles. L'intérieur du corps est électropoli en acier inoxydable 316L VeriClean™. VeriClean™ est une marque d'acier inoxydable de grade UHP appartenant à Parker. La membrane est en alliage à base de cobalt extrêmement résistant. La série SM930 utilise en outre les matériaux suivants pour le siège : PCTFE, PEEK® et Vespel®, pour la compatibilité avec une vaste gamme de fluides de traitement.Ces matériaux associés à des caractéristiques de conception rigoureuses confèrent à la série SM930 une extrême résistance à la corrosion et un cycle de vie maximum pour des pressions d'entrée allant jusqu'à 250 psig.

Les vannes pneumatiques de la série SM930 peuvent être configurées de manière à fournir une indication d'ouverture et de fermeture assortie d'un interrupteur de fin de course ou d'un détecteur de proximité. Elles sont également disponibles en plusieurs configurations de corps, notamment 930Y (vanne en Y) et 930 (garniture étanche et tronçon de tube).

Le joint (siège) intérieur et le joint extérieur métallique des vannes de la série SM930 sont soumis à un essai d'étanchéité à l'hélium au moyen d'un spectromètre de masse, afin de garantir leurs performances et leur fiabilité dans les applications UHP exigeantes.

Marchés :
• Semi-conducteurs
• Laboratoires d'analyse
• Industrie pharmaceutique
• Biopharmacie
• Aérospatiale
• Industrie

Caractéristiques/Avantages :
• Disponible dans des dimensions de corps de 1-1/8"et 1-1/2"montables en surface à joints C et W
• Finition de surface par électropolissage de 5 micropouces (Ra)
• Cycle de vie élevé (y compris l'entretien anti-corrosion)
• Rigidité interne et absence de filetage réduisant la génération de particules et le piégeage du gaz
• Pleinement fonctionnel, du vide jusqu'à 250 psig
• Taux de fuite interne : ≤ 1 x 10-9 scc/s He
• Taux de fuite extérieur : ≤ 2 x 10-10 scc/s He
• Pression nominale de commande AOP de 75 psig

Applications :
• Gaz corrosifs et spécialisés
• Outils semi-conducteurs
• Crochets pour outils
• Armoires à gaz
• Blocs de vannes


VeriClean™ est une marque de Parker Hannifin Corporation
Vespel® est une marque déposée de DuPont Performance Elastomers L.L.C.
PEEK™ est une marque de Victrex plc.