La vanne à membrane dotée d’un corps en acier inoxydable de 1-/1/8 pouce de la série 930 de Parker se caractérise par une excellente étanchéité, un cycle de vie prolongé et une faible génération de particules, ce qui en fait la vanne idéale pour la fabrication de semi-conducteurs UHP.
La conception de la série 930 se distingue par son absence de filetages ou de ressorts en contact avec le fluide de process, afin de réduire la génération et le piégeage de particules pour une réduction de la contamination des processus, ce qui est essentiel pour les applications de semi-conducteurs. Grâce à la précision de sa conception, la vanne contrôle les contraintes du siège et de la membrane afin d’offrir une durée de vie fiable et sans entretien. Les composants en contact avec les fluides de la série 930 sont fabriqués dans des métaux techniques afin de garantir une excellente résistance à la corrosion et une très bonne étanchéité. L’intérieur du corps est fabriqué en acier inoxydable 316L VeriClean™ électro-poli. VeriClean™ est une marque d'acier inoxydable de grade UHP appartenant à Parker. La membrane est en alliage de cobalt extrêmement résistant. Le siège est constitué de matériaux PCTFE, PEEK® et Vespel® afin de pouvoir utiliser la vanne 930 avec un large éventail de fluides de process. Ces matériaux associés aux caractéristiques de la série 930 confèrent une excellente résistance à la corrosion et un cycle de vie prolongé à des pressions d’entrée de 300 psig.
Les vannes pneumatiques de cette série peuvent être configurées de manière à fournir une indication d’ouverture et de fermeture assortie d’un interrupteur de fin de course ou d’un détecteur de proximité. Elle est également disponible dans plusieurs configurations de corps, comme la 930Y (vanne en Y) et la SM930 (montage en surface).
Le joint (siège) intérieur et le joint extérieur métallique des vannes de la série 930 sont soumis à un essai d’étanchéité à l’hélium au moyen d’un spectromètre de masse, afin de garantir leurs performances et leur fiabilité dans les applications UHP exigeantes.
Marchés :
• Semi-conducteurs
• Laboratoires d'analyse
• Industrie pharmaceutique
• Biopharmacie
• Aérospatiale
• Industrie
Caractéristiques/Avantages :
• Finition de surface par électro-polissage de 5 micropouces (Ra)
• Cycle de vie élevé (y compris l’entretien anti-corrosion)
• Rigidité interne et absence de filetage réduisant la génération de particules et le piégeage du gaz
• Pleinement fonctionnel, du vide jusqu'à 300 psig
• Taux de fuite interne : ≤ 1 x 10-9 scc/s He
• Taux de fuite extérieur : ≤ 2 x 10-10 scc/s He
• Pression nominale de commande AOP de 75 psig
Applications :
• Gaz corrosifs et spécialisés
• Outils semi-conducteurs
• Crochets pour outils
• Armoires à gaz
• Blocs de vannes
Vespel® est une marque déposée de DuPont Performance Elastomers L.L.C.
VeriClean™ est une marque de Parker Hannifin Corporation
PEEK™ est une marque de Victrex plc.
