Vanne à membrane haut débit ultra-haute pureté (UHP) – Série 970 | Série de produits

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Vanne à membrane haut débit ultra-haute pureté (UHP) – Série 970

Vanne à membrane haut débit ultra-haute pureté (UHP) – Série 970

Où acheter

La vanne à membrane série 970 affiche une longue durée de cycle et une étanchéité exceptionnelle. Manuelle ou pneumatique, elle est parfaitement adaptée aux utilisations dans les outils semi-conducteurs ultra-haute pureté à débit élevé.

Description complète du produit

Le modèle 970 de Parker affiche un débit élevé, 0,70 Cv et une excellente étanchéité ; il est parfait pour les applications d'outils semi-conducteurs ultra-haute pureté, dont les coffres à gaz, les armoires à gaz et les boîtiers collecteurs de vannes (VMB).

La série 970 dispose d'un électropolissage complet intérieur et extérieur dans une finition de surface sur toutes les surfaces en contact. Tous ces éléments, couplés à son absence de ressort et de filetage interne, réduisent la génération de particules et le piégeage du gaz. Le corps de la vanne est un acier inoxydable 316L Vericlean™ haute pureté, à faible teneur en soufre de Veriflo, pour une longue durée de vie et une meilleure résistance à la corrosion. Les sièges de vanne remplaçables sont en PCTFE, pour des performances de fermeture exceptionnelles et un coût total de possession inférieur.

La vanne à membrane série 970 affiche un débit élevé, 0,70 Cv, dans un format compact, grâce auquel elle convient parfaitement aux situations où l'espace est limité, comme les coffres à gaz, les armoires à gaz et les boîtiers collecteurs de vannes (VMB). Fonctionnement manuel ou pneumatique avec une pression de service maximale de 250 et 150 psig respectivement.

Toutes les vannes série 970 sont soumises à un essai d’étanchéité à l’hélium au moyen d’un spectromètre de masse, afin de garantir leurs performances et leur fiabilité dans les applications où l'étanchéité est essentielle.

Marchés :
• Semi-conducteurs
• Laboratoires d'analyse
• Industrie pharmaceutique
• Biopharmacie
• Aérospatiale

Caractéristiques/Avantages :
• Finition de surface standard de 5 micropouces en Ra
• Capacité de débit = 0,70 Cv
• Cycle de vie long
• Rigidité interne et absence de filetage réduisant la génération de particules et le piégeage du gaz
• Taux de fuite interne : ≤1 x 10-9 scc/s He (nominal)
• Taux de fuite extérieur : ≤ 2 x 10-10 scc/s He
• Pression de commande AOP : 70 à 125 psig nominale
• Volume interne 0,59 cc (y compris garnitures étanches)
• Pression de service maximale : 250 psig (manuel), 150 psig (AOP)

Applications :
• Gaz corrosifs et spécialisés
• Coffres à gaz
• Armoires à gaz
• Blocs de vannes

VeriClean™ est une marque de Parker Hannifin Corporation

Documents annexes

Literature and Reference Materials
Veriflo CAD File Locator Guide
Veriflo Product Selection & Operation Safety Guide
Diaphragm Valves Selection Guide
Veriflo--Diaphragm Valve High Flow 970 Series
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Produits Type de commande Raccord d’entrée Raccord de sortie
970AOPLPNCSFS8FF Normally Closed 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Female
970AOPLPNCSFS8MF Normally Closed 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Female
970AOPLPNCSFS8MM Normally Closed 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Male
970AOPLPNCSSFS8FM Normally Closed 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Male
970AOPLPNCSTS8 Normally Closed 1/2" Tube Stub 1/2" Tube Stub
970AOPLPNOSFS8MF Normally Open 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Female
970AOPLPNOSFS8MM Normally Open 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Male
970AOPLPNOSSFS8FF Normally Open 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Female
970AOPLPNOSSFS8FM Normally Open 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Male
970AOPLPNOSTS8 Normally Open 1/2" Tube Stub 1/2" Tube Stub
970ISFS8MF Manual, Indicating Handwheel 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Female
970ISFS8MM Manual, Indicating Handwheel 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Male
970ISSFS8FF Manual, Indicating Handwheel 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Female
970ISSFS8FM Manual, Indicating Handwheel 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Male
970ISTS8 Manual, Indicating Handwheel 1/2" Tube Stub 1/2" Tube Stub
970SSFS8FF Manual, Spin Handwheel 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Female
970SSFS8FM Manual, Spin Handwheel 1/2" Face Seal Female 1/2" Face Seal Male
970SSFS8MF Manual, Spin Handwheel 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Female
970SSFS8MM Manual, Spin Handwheel 1/2" Face Seal Male 1/2" Face Seal Male
970SSTS8 Manual, Spin Handwheel 1/2" Tube Stub 1/2" Tube Stub

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