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超高压气体调节器 - 高流量-BFR5K系列
BFR5K系列调节器为半导体加工设计的紧凑的，高流量，用于半导体加工的高性能散装气体调节器.
超高压气体调节器 - 高流量-BFR5K系列 | Product Series
技术规格：
- 阀体材料： vericlean 316L不锈钢材质
- 阀芯材料： vericlean 316L不锈钢材质
- 阀座材料： 聚三氟氯乙烯
- O 型圈材料： 氟碳，乙烯-丙烯
- 波纹管材料： 合金718（内部材质）321不锈钢（外部材质）
- 帽材料： 黄铜镀镍
- 流速： Cv: 4.5
- 内部泄漏率： 气密
- 外部泄漏率： 外部泄漏率为 1 x 10-9 scc/sec（内侧的试验方法）
- 体积： 71 (without connections) cm3
- 重量： 5.7(顶装），7.7（手动） lb, 2.6(顶装），3.5（手动） kg
- 最大入口额定压力： 500 psig
-
出口额定压力：
0-60psig,0-100psig,0-150psig,
0-200 psig (手动) 0-200 psig (顶装) - 最高运行温度： 66 °C, 150 °F
- 最低运行温度： -40 °C, -40 °F
完整的产品说明
BFR5K系列稳压器是为半导体工艺设计的一款紧凑的，高流量，高性能的气体调节器的设计。BFR5K在流速5000 SLPM这么高的条件下提供了稳定的出口压力。 平衡阀芯的设计允许调节保持出口压力设置无论在上游压力的变化。 波纹管316L不锈钢和321不锈钢阀芯。高流量.膜片为增加安全性的提升。平衡阀芯的设计减少了供应压力的影响，能够在很宽的流量范围从100到5000 SLPM操作。半导体体积气体的相容性。在湿润部分没有弹簧。标准全内部电抛光。
相关文档（前身为“产品支持”）
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